Чӣ асттетрафториди карбон? Истифода чист?
Тетрафториди карбон, ки бо номи тетрафторметан низ маълум аст, ҳамчун пайвастагии ғайриорганикӣ ҳисобида мешавад. Он дар раванди коркарди плазмаи микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад ва инчунин ҳамчун гази лазерӣ ва яхдон истифода мешавад. Он дар зери ҳарорат ва фишори муқаррарӣ нисбатан устувор аст, аммо аз тамос бо оксидантҳои қавӣ, маводи сӯхташаванда ё сӯзишворӣ пешгирӣ кардан лозим аст. Тетрафториди карбон як гази сӯхтанашаванда аст. Агар ба гармии баланд дучор шавад, фишори дохилии зарф зиёд шуда, хавфи кафидан ва таркиш ба амал меояд. Одатан, он метавонад танҳо бо аммиаки моеъ-натрий реагент дар ҳарорати хонагӣ ҳамкорӣ кунад.
Тетрафториди карбондар айни замон бузургтарин гази плазмаест, ки дар саноати микроэлектроника истифода мешавад. Онро дар коркарди кремний, диоксиди кремний, шишаи фосфосиликатӣ ва дигар маводи филми борик, тоза кардани сатҳи дастгоҳҳои электронӣ, истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобӣ, технологияи лазерӣ, изолятсияи гази фазавӣ, яхдонҳои ҳарорати паст, агентҳои ошкоркунии ихроҷ васеъ истифода бурдан мумкин аст. ва моддаҳои шустушӯй дар истеҳсоли микросхемаҳои чопӣ шумораи зиёди барномаҳо доранд.
Вақти фиристодан: Ноябр-01-2021