Тетрафториди карбон (CF4)

Параметрҳои техникӣ

Тетрафториди карбон як карбогидридҳои галогеншуда бо формулаи химиявии CF4 мебошад.Онро метавон ҳамчун карбогидридҳои галогендор, метани галогендор, перфторкарбон ё ҳамчун пайвастагии ғайриорганикӣ баррасӣ кард.Тетрафториди карбон гази бе ранг ва бӯй буда, дар об ҳал намешавад, дар бензол ва хлороформ ҳал мешавад.Дар зери ҳарорат ва фишори муқаррарӣ устувор аст, аз оксидантҳои қавӣ, маводҳои оташгиранда ё сӯзишворӣ канорагирӣ кунед.Гази гайрисўзанда, фишори дохилии зарф њангоми ба гармии баланд дучор шудан зиёд шуда, хавфи кафидан ва таркиш ба амал меояд.Он аз чихати химиявй устувор ва оташгиранда нест.Дар ҳарорати хонагӣ танҳо реагенти металлии аммиаки моеъ кор карда метавонад.Тетрафториди карбон як газест, ки таъсири гармхонаҳоро ба вуҷуд меорад.Вай хеле устувор аст, метавонад дар атмосфера муддати дароз бимонад ва гази хеле пурқуввати гармхонаӣ мебошад.Тетрафториди карбон дар ҷараёни плазмаи микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад.Он инчунин ҳамчун гази лазерӣ истифода мешавад ва дар яхдонҳои ҳарорати паст, ҳалкунандаҳо, равғанҳои молиданӣ, масолеҳи изолятсия ва хунуккунандаҳо барои детекторҳои инфрасурх истифода мешавад.Ин гази аз ҳама бештар истифодашавандаи плазма дар саноати микроэлектроника мебошад.Ин омехтаи гази тозаи тетрафторметан ва гази тозаи тетрафторметан ва оксигени тоза мебошад.Онро дар кремний, диоксиди кремний, нитриди кремний ва шишаи фосфосиликат васеъ истифода бурдан мумкин аст.Офтиши маводи филми борик ба монанди волфрам ва вольфрам инчунин дар тозакунии сатҳи дастгоҳҳои электронӣ, истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобӣ, технологияи лазерӣ, яхдонҳои ҳарорати паст, санҷиши ихроҷ ва шустушӯй дар истеҳсоли микросхемаҳои чопӣ васеъ истифода мешавад.Барои микросхемаҳои интегралӣ ҳамчун яхдон бо ҳарорати паст ва технологияи коркарди хушки плазма истифода мешавад.Тадбирҳои эҳтиётӣ барои нигоҳдорӣ: Дар анбори гази сӯзишворӣ, хунук ва вентилятсия нигоҳ доред.Аз оташ ва манбаъҳои гармӣ дур нигоҳ доред.Ҳарорати нигоҳдорӣ набояд аз 30 ° C зиёд бошад.Он бояд дар алоҳидагӣ аз сӯзишвориҳои осон (сӯхташаванда) ва оксидантҳо нигоҳ дошта шавад ва аз нигоҳдории омехта худдорӣ намоед.Майдони нигоҳдорӣ бояд бо таҷҳизоти муолиҷаи фаврии ихроҷ муҷаҳҳаз карда шавад.

Ариза:

① яхдон:

Тетрафторметан баъзан ҳамчун яхдон дар ҳарорати паст истифода мешавад.

② Эзоҳ:

Он дар микрофабрикаи электроника танҳо ё дар якҷоягӣ бо оксиген ҳамчун плазма барои кремний, диоксиди кремний ва нитриди кремний истифода мешавад.

Бастаи муқаррарӣ:

Афзалият:

①Тозагии баланд, иншооти навтарин;

②Истехсолкунандаи сертификати ISO;

③Интиқоли зуд;

④Системаи таҳлили онлайн барои назорати сифат дар ҳар як қадам;

⑤Талаботи баланд ва раванди дақиқ барои коркарди силиндр пеш аз пур кардан;