Технологияҳои хушккардашуда яке аз равандҳои калидӣ мебошад. Гули хушк гази калидӣ дар нимноқил ва манбаи гази муҳими бензин барои плазма мебошад. Иҷрои он мустақиман ба сифат ва иҷрои маҳсулоти ниҳоӣ таъсир мерасонад. Ин мақола асосан саҳмияҳо медиҳанд, ки газҳои маъмулан дар раванди хушк ба чӣ маъмуланд.
Газҳои фторбининалӣ: ба монандиTretrafluororide (CF4), эзоҳдоро (C2F6), Trifluororomethane (chf3) ва perfluoropropane (c3f8). Ин газҳо ҳангоми ба даст овардани пайвастагиҳои шиферномаҳо ва кремникӣ метавонанд фоторҳои ночиз ва кремнийро самаранок ба самаранокӣ самаранок эҷод кунанд.
Газҳои хлорӣ: ба монанди хлор (CL2),Boron Trichloride (BCL3)ва tretrlelid trettloride (SICL4). Газҳои хлор дар замини хлор метавонанд юнони хлоридиро дар ҷараёни ба таври фаврӣ таъмин кунанд, ки ба такмили сатҳи etching ва интихобот кӯмак мерасонад.
Газҳои BROMINING: ба монанди BROMINE (BR2) ва edideide edideide (IBR). Газҳои бар асосёфта метавонанд иҷрои беҳтарашро дар равандҳои муайян таъмин кунанд, хусусан ҳангоми ба даст овардани кирми кремикон.
Газҳои нитроген асосёфта ва оксиген: ба монанди trifluorioride nitrogen (nf3) ва оксиген (O2). Ин газҳо одатан барои танзими шароити аксуламал дар раванди ба таври фаврӣ барои такмил додани интихоб ва самти пешрафт истифода мешаванд.
Ин газҳо ба сатҳи дақиқи сатҳи моддӣ тавассути омезиши ғизодиҳии ҷисмонӣ ва аксуламалҳои химиявӣ ҳангоми парвоз. Интихоби газ аз намуди мавод ба навъи мавод, талаботи интихоби интихобшаванда ва сатҳи бақияи дилхоҳ вобаста аст.
Вақти почта: Feb-08-2025
