Технологияи коркарди хушк яке аз равандҳои асосӣ мебошад. Гази пошидани хушк як маводи калидӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо ва манбаи муҳими газ барои пошидани плазма мебошад. Ичрои он бевосита ба сифат ва кори махсулоти нихой таъсир мерасонад. Ин мақола асосан нақл мекунад, ки газҳои маъмулан истифодашаванда дар раванди коркарди хушк кадомҳоянд.
Газҳои фторӣ: ба монандитетрафториди карбон (CF4), гексафтороэтан (C2F6), трифторметан (CHF3) ва перфторпропан (C3F8). Ин газҳо метавонанд ба таври муассир фторидҳои идоранашавандаро ҳангоми буридани пайвастагиҳои кремний ва кремний тавлид кунанд ва ба ин васила ба хориҷ кардани мавод ноил шаванд.
Газҳои ба хлор асосёфта: ба монанди хлор (Cl2),трихлориди бор (BCl3)ва тетрахлориди кремний (SiCl4). Газҳои ба хлор асосёфта метавонанд ионҳои хлоридиро дар ҷараёни коркард таъмин кунанд, ки барои беҳтар кардани суръат ва интихобӣ мусоидат мекунад.
Газҳои ба бром асосёфта: ба монанди бром (Br2) ва йодид бром (IBr). Газҳои дар асоси бром асосёфта метавонанд дар равандҳои муайяни абрешим иҷрои беҳтари абрешимро таъмин кунанд, алахусус ҳангоми рехтани маводи сахт ба монанди карбиди кремний.
Газҳои ба нитроген асосёфта ва оксиген асосёфта: ба монанди трифториди нитроген (NF3) ва оксиген (O2). Ин газҳо одатан барои танзими шароити реаксия дар раванди etching истифода мешаванд, то интихобӣ ва самти равишро беҳтар созанд.
Ин газҳо тавассути омезиши пошидани физикӣ ва реаксияҳои кимиёвӣ ҳангоми пошидани плазма ба сатҳи дақиқи моддӣ ноил мешаванд. Интихоби гази абрешим аз намуди маводе, ки бояд канда шавад, талаботи интихобии чӯбкорӣ ва суръати матои дилхоҳ вобаста аст.
Вақти фиристодан: феврал-08-2025
