Технологияи кандакории хушк яке аз равандҳои калидӣ мебошад. Гази кандакории хушк маводи калидӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо ва манбаи муҳими газ барои кандакории плазма мебошад. Самаранокии он мустақиман ба сифат ва самаранокии маҳсулоти ниҳоӣ таъсир мерасонад. Дар ин мақола асосан газҳои кандакории маъмулан истифодашаванда дар раванди кандакории хушк кадомҳоянд, шарҳ дода шудааст.
Газҳои фтордор: ба монандитетрафториди карбон (CF4), гексафторэтан (C2F6), трифторметан (CHF3) ва перфторпропан (C3F8). Ин газҳо метавонанд ҳангоми кандакорӣ кардани кремний ва пайвастагиҳои кремний фторидҳои идоранашавандаро самаранок ба вуҷуд оранд ва бо ин васила тозакунии маводро таъмин кунанд.
Газҳои дар асоси хлор: ба монанди хлор (Cl2),трихлориди бор (BCl3)ва тетрахлориди кремний (SiCl4). Газҳои дар асоси хлор буда метавонанд ҳангоми раванди кандакорӣ ионҳои хлоридро таъмин кунанд, ки ба беҳтар шудани суръати кандакорӣ ва интихобӣ мусоидат мекунад.
Газҳои дар асоси бром: ба монанди бром (Br2) ва йодиди бром (IBr). Газҳои дар асоси бром метавонанд дар баъзе равандҳои кандакорӣ, махсусан ҳангоми кандакорӣ кардани маводҳои сахт, ба монанди карбиди кремний, сифати беҳтари кандакориро таъмин кунанд.
Газҳои дар асоси нитроген ва оксиген асосёфта: ба монанди трифториди нитроген (NF3) ва оксиген (O2). Ин газҳо одатан барои танзими шароити реаксия дар раванди кандакорӣ барои беҳтар кардани интихоб ва самтнокии кандакорӣ истифода мешаванд.
Ин газҳо тавассути омезиши пошидани физикӣ ва реаксияҳои кимиёвӣ ҳангоми кандакории плазмавӣ кандакории дақиқи сатҳи маводро ба даст меоранд. Интихоби гази кандакорӣ аз намуди маводе, ки бояд кандакорӣ карда шавад, талаботи интихобӣ барои кандакорӣ ва суръати дилхоҳи кандакорӣ вобаста аст.
Вақти нашр: 08 феврали соли 2025
