Электронорӣгазҳои махсусяк шохаи муҳими газҳои махсус мебошанд. Онҳо қариб ҳар як пайванди истеҳсоли нимноқилдорро ворид мекунанд ва ашёи хоми мӯҳлатнок барои истеҳсоли соҳаҳои электронӣ, ба монанди мониторинги ULTRA-васеъмиқёс, дастгоҳҳои намоиши панелҳои ҳамвор ва ҳуҷайраҳои офтобӣ.

Дар технологияи семиҷозимон, газҳои фторчини дороиҳо истифода мешаванд. Дар айни замон, дар бозори ҷаҳонии газ, газҳои электронӣ тақрибан 30% томро ташкил медиҳанд. Газҳои электронии дорои электронкунанда ҷузъи муҳими газҳои электронии махсус дар соҳаи маводи электронии иттилоотӣ мебошанд. Онҳо асосан ҳамчун агентҳои тоза ва ё ба монанди агентҳо ва ё ба сифати агентҳо истифода мешаванд ва инчунин метавонанд ҳамчун моторантҳо, маводҳои ташаккулёфта ва ғайра истифода шаванд, муаллиф шуморо дарк мекунад, ки газҳои маъмулӣ-дорои мавҷудбударо қабул кунад.

НАЗОРАТҲОИ МАҲСУЛОТҲОИ МАҲСУЛОТ

Trifluoride nitrogen:

Sulfur Hexafluenide (SF6): Агенти фотография дар бораи равандҳои оксиди оксиди оксид ва ҳамчун зарбаи гармидиҳӣ барои пур кардани ВАО-и аслӣ истифода мешавад.

Фторҳои гидропенӣ (HF): Барои хориҷ кардани оксидҳо аз сатҳи кремингӣ ва ҳамчун як пашша барои ба даст овардани кремний ва дигар маводҳо истифода мешуд.

Нитроген фторҳои нитроген: барои etch ба масолеҳи серликон, монанди нитрит (гуноҳ) ва нитраси алюминий (Aln).

Trifluoromethant (chf3) ваTetrafluoromethante (CF4): Барои etch flesticide масобати фоторе, ба монанди кланчиева ва фториён ва фториди алюминий истифода мешавад.

Аммо, газҳои фторҳои дорои хатари муайян доранд, аз ҷумла заҳролудшавӣ, садамавӣ ва оташгирӣ.

Заҳролудкунӣ

Баъзе газҳои фторҳои дорои заҳрнок мебошанд, ба монанди гидроси гидропенӣ (HF), ки буғи онҳо ба пӯст ва рисолати нафас хеле осебпазир аст ва ба саломатии инсон зараровар аст.

Садама

Фторҳои гидропик ва баъзе фторҳои гидропенӣ баланданд ва метавонанд ба пӯст, чашм ва рисолати нафас зарари ҷиддӣ расонанд.

Оташ

Баъзе фосимидҳо оташгирандаанд ва бо оксиген ё об дар ҳаво барои озод кардани газҳои шадид ва заҳрҳо, ки метавонанд ба оташ ё таркиш оварда расонанд.

Хатари фишори баланд

Баъзе газҳои бадтаршуда дар зери фишори баланд қарор доранд ва ҳангоми истифода ва ҳифзшаванда нигоҳубини махсусро талаб мекунанд.

Таъсир ба муҳити зист

Газҳои фторчини дорои арзишҳои атмосфера ва GWP мавҷуданд, ки ба қабати атмосфера таъсири харобкунанда доранд ва метавонад боиси гармшавии ҷаҳонӣ ва ифлосшавии муҳити зист оварда расонад.

Татбиқи газҳо дар майдонҳои пайдошуда, аз қабили электроника чуқуркаро қавӣ мегардонад ва ба газҳои саноатӣ миқдори зиёди талаботи навро пешниҳод мекунад. Дар тӯли чанд соли зиёд, дар чанд соли оянда, дар чанд соли оянда ба миқдори зиёди иқтидорҳои асосии истеҳсолӣ, инчунин талаботҳои қавӣ барои ворид кардани маводи электронӣ, ки ба соҳаи элекҳонии ватанӣ дар сатҳи баланди рушд истифода мебаранд.