Электронӣгазҳои махсусяк шохаи муҳими газҳои махсус мебошанд. Онҳо қариб ба ҳар як ҳалқаи истеҳсоли нимноқилҳо ворид мешаванд ва ашёи хоми ҳатмӣ барои истеҳсоли саноати электронӣ, аз қабили схемаҳои интегралии ултра калон, дастгоҳҳои дисплейи панелҳои ҳамвор ва батареяҳои офтобӣ мебошанд.

Дар технологияи нимноқилҳо, газҳои дорои фтор ба таври васеъ истифода мешаванд. Айни замон, дар бозори ҷаҳонии гази электронӣ, газҳои электронии дорои фтор тақрибан 30% -и умумии онҳоро ташкил медиҳанд. Газҳои электронии дорои фтор ҷузъи муҳими газҳои электронии махсус дар соҳаи маводи иттилоотии электронӣ мебошанд. Онҳо асосан ҳамчун агентҳои тозакунанда ва кандакорӣ истифода мешаванд ва инчунин метавонанд ҳамчун иловаҳо, маводҳои плёнкасозӣ ва ғайра истифода шаванд. Дар ин мақола, муаллиф шуморо барои фаҳмидани газҳои маъмулии дорои фтор роҳнамоӣ мекунад.

Газҳои дорои фтор маъмулан истифодашавандаи зерин мебошанд

Трифториди нитроген (NF3): Газе, ки барои тоза кардан ва хориҷ кардани пасмондаҳо истифода мешавад, одатан барои тоза кардани камераҳои реаксия ва сатҳҳои таҷҳизот истифода мешавад.

Гексафториди сулфур (SF6)Агенти фторкунанда, ки дар равандҳои таҳшиншавии оксид ва ҳамчун гази изолятсия барои пур кардани муҳити изолятсия истифода мешавад.

Фториди гидроген (HF): Барои тоза кардани оксидҳо аз сатҳи кремний ва ҳамчун кандакорӣ барои кандакории кремний ва дигар маводҳо истифода мешавад.

Фториди нитроген (NF): Барои кандакорӣ кардани маводҳо ба монанди нитриди кремний (SiN) ва нитриди алюминий (AlN) истифода мешавад.

Трифторметан (CHF3) ватетрафторметан (CF4): Барои кандакорӣ кардани маводҳои фторӣ ба монанди фториди кремний ва фториди алюминий истифода мешавад.

Аммо, газҳои дорои фтор хатарҳои муайяне доранд, аз ҷумла заҳролудшавӣ, зангзанӣ ва оташгирандагӣ.

Заҳролудшавӣ

Баъзе газҳои дорои фтор заҳролуд мебошанд, ба монанди фториди гидроген (HF), ки буғи он пӯст ва роҳҳои нафасро хеле асабонӣ мекунад ва ба саломатии инсон зараровар аст.

Зангзанӣ

Фториди гидроген ва баъзе фторидҳо хеле зангзананда буда, метавонанд ба пӯст, чашм ва роҳҳои нафас зарари ҷиддӣ расонанд.

Оташгирандагӣ

Баъзе фторҳо оташгирандаанд ва бо оксиген ё об дар ҳаво реаксия карда, гармии шадид ва газҳои заҳролудро хориҷ мекунанд, ки метавонанд боиси сӯхтор ё таркиш шаванд.

Хатари фишори баланд

Баъзе газҳои фтордор зери фишори баланд тарканда мешаванд ва ҳангоми истифода ва нигоҳдорӣ эҳтиёткории махсусро талаб мекунанд.

Таъсир ба муҳити зист

Газҳои дорои фтор мӯҳлати баланди атмосфера ва арзишҳои GWP доранд, ки ба қабати озони атмосфера таъсири харобиовар мерасонанд ва метавонанд боиси гармшавии глобалӣ ва ифлосшавии муҳити зист шаванд.

Истифодаи газҳо дар соҳаҳои рӯ ба инкишоф, ба монанди электроника, амиқтар шуда, талаботи зиёдеро ба газҳои саноатӣ ба бор меорад. Бо назардошти ҳаҷми зиёди иқтидорҳои нави истеҳсолии ҷузъҳои асосии электронӣ, аз қабили нимноқилҳо ва панелҳои намоишӣ дар Чин дар чанд соли оянда, инчунин талаботи зиёд ба ивазкунии воридоти маводҳои кимиёвии электронӣ, саноати гази электронии ватанӣ суръати баланди рушдро таъмин хоҳад кард.