Электронгазҳои махсусяк шохаи мухими газхои махсус мебошанд. Онхо кариб ба хамаи звенохои истехсоли нимнокилхо дохил мешаванд ва барои истехсоли сохахои электронй, ба монанди микросхемахои интегралии ултра-калон, асбобхои намоишии панели хамвор ва батареяхои офтобй ашьёи хоми зарурй мебошанд.

Дар технологияи нимноқилҳо газҳои фтордор васеъ истифода мешаванд. Дар айни замон, дар бозори ҷаҳонии гази электронӣ, газҳои электронии дорои фтор тақрибан 30% -ро ташкил медиҳанд. Газҳои электронии дорои фтор ҷузъи муҳими газҳои махсуси электронӣ дар соҳаи маводи иттилоотии электронӣ мебошанд. Онҳо асосан ба сифати агентҳои тозакунанда ва агентҳои etching истифода мешаванд, ва инчунин метавонанд ҳамчун dopants, маводи филм-ташаккули, ва ғайра истифода бурда мешавад. Дар ин мақола, муаллиф шуморо ба фаҳмидани газҳои умумӣ фтор-дорои.

Дар зер газҳои фтордор маъмулан истифода мешаванд

Трифториди нитроген (NF3): Газе, ки барои тоза кардан ва тоза кардани конҳо истифода мешавад, одатан барои тоза кардани камераҳои реаксия ва сатҳи таҷҳизот истифода мешавад.

Гексафториди сулфур (SF6): Як агенти фторкунӣ, ки дар равандҳои пошидани оксид ва ҳамчун гази изолятсия барои пур кардани васоити изолятсия истифода мешавад.

Фториди гидроген (HF): Барои тоза кардани оксидҳо аз сатҳи кремний ва ҳамчун сӯзишворӣ барои сӯхтани кремний ва дигар маводҳо истифода мешавад.

Фториди нитроген (NF): Истифода бурда мешавад, ки маводҳо ба монанди нитриди кремний (SiN) ва нитриди алюминий (AlN).

Трифторметан (CHF3) ватетрафторметан (CF4): Барои коркарди маводи фториди монанди фториди кремний ва фториди алюминий истифода мешавад.

Бо вуҷуди ин, газҳои фтордор дорои хатарҳои муайян, аз ҷумла заҳролудшавӣ, зангзанӣ ва оташгирӣ мебошанд.

Заҳролудшавӣ

Баъзе газҳои фториддор заҳролуд ҳастанд, ба монанди фториди гидроген (HF), ки буғи он ба пӯст ва роҳҳои нафаскашӣ хеле хашмгин аст ва ба саломатии инсон зараровар аст.

Коррозия

Фториди гидроген ва баъзе фторидҳо хеле зангзанандаанд ва метавонанд ба пӯст, чашм ва роҳҳои нафас зарари ҷиддӣ расонанд.

оташгиранда

Баъзе фторидҳо оташгиранда буда, бо оксиген ё об дар ҳаво реаксия карда, гармии шадид ва газҳои заҳролудро ба вуҷуд меоранд, ки метавонанд боиси сӯхтор ё таркиш шаванд.

Хавфи фишори баланд

Баъзе газҳои фтордор дар зери фишори баланд таркиш доранд ва ҳангоми истифода ва нигоҳдорӣ нигоҳубини махсусро талаб мекунанд.

Таъсир ба муҳити зист

Газҳои фтордор дорои умри баланди атмосфера ва арзишҳои GWP мебошанд, ки ба қабати озони атмосфера таъсири харобиовар доранд ва метавонанд боиси гармшавии глобалӣ ва олудашавии муҳити зист шаванд.

Истифодаи газҳо дар соҳаҳои рушдёбанда, ба монанди электроника, амиқтар шуданро идома дода, миқдори зиёди талаботи навро ба газҳои саноатӣ меорад. Дар асоси миқдори зиёди иқтидори нави истеҳсолии ҷузъҳои асосии электронӣ, аз қабили нимноқилҳо ва панелҳои дисплей дар қитъаи Чин дар чанд соли оянда, инчунин талаботи қавӣ барои иваз кардани маводҳои кимиёвии электронӣ, саноати гази электронии ватанӣ суръати баланди афзоиш.