Газҳои махсуси электронии дорои фториди умумӣ дохил мешавандсулфур гексафториди (SF6), гексафториди волфрам (WF6),тетрафториди карбон (CF4), triflorometan (CHF3), trifluoride нитроген (NF3), гексафтороэтан (C2F6) ва octafluoropropan (C3F8).
Бо рушди нанотехнология ва рушди миқёси васеи саноати электроника, талабот ба он рӯз то рӯз меафзояд. Трифториди нитроген ҳамчун гази махсуси электронӣ дар истеҳсол ва коркарди панелҳо ва нимноқилҳо ҳатмӣ ва калонтарин истифодашаванда фазои васеи бозор дорад.
Ҳамчун як навъи гази махсуси дорои фтор,трифториди нитроген (NF3)маҳсулоти махсуси электронии газ бо иқтидори бузургтарини бозор мебошад. Он дар ҳарорати хонагӣ аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол аст, аз оксиген дар ҳарорати баланд фаъолтар аст, нисбат ба фтор устувортар аст ва коркардаш осон аст. Трифториди нитроген асосан ҳамчун гази плазма ва агенти тозакунандаи камераи реаксия истифода мешавад ва барои соҳаҳои истеҳсоли микросхемаҳои нимноқилҳо, дисплейҳои панели ҳамвор, нахҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ ва ғайра мувофиқ аст.
Дар муқоиса бо дигар газҳои электронии дорои фтор,трифториди нитрогенафзалияти реаксияи тез ва самаранокии баланд дорад. Махсусан дар пора кардани маводҳои дорои кремний ба монанди нитриди кремний, он дорои суръати баланд ва интихобӣ буда, дар рӯи ашёи кандашуда ҳеҷ пасмонда намегузорад. Он инчунин як агенти тозакунандаи хеле хуб аст ва ба сатҳи ифлоскунандае надорад, ки метавонад ниёзҳои раванди коркардро қонеъ кунад.
Вақти фиристодан: сентябр-14-2024
