Газҳои электронии махсуси дорои фтор иборатанд азгексафториди сулфур (SF6), гексафториди волфрам (WF6),тетрафториди карбон (CF4), трифторметан (CHF3), трифториди нитроген (NF3), гексафторэтан (C2F6) ва октафторпропан (C3F8).
Бо рушди нанотехнология ва рушди васеъмиқёси саноати электроника, талабот ба он рӯз аз рӯз афзоиш хоҳад ёфт. Трифториди нитроген, ҳамчун гази электронии махсуси ивазнашаванда ва калонтарин истифодашаванда дар истеҳсол ва коркарди панелҳо ва нимноқилҳо, фазои васеи бозорӣ дорад.
Ҳамчун як навъи гази махсуси дорои фтор,трифториди нитроген (NF3)маҳсулоти гази махсуси электронӣ бо бузургтарин иқтидори бозор мебошад. Он дар ҳарорати хонагӣ аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол, дар ҳарорати баланд аз оксиген фаъолтар, аз фтор устувортар ва коркардаш осон аст. Трифториди нитроген асосан ҳамчун гази кандакории плазма ва агенти тозакунандаи камераи реаксия истифода мешавад ва барои соҳаҳои истеҳсоли чипҳои нимноқил, дисплейҳои панелҳои ҳамвор, нахҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ ва ғайра мувофиқ аст.
Дар муқоиса бо дигар газҳои электронии дорои фтор,трифториди нитрогендорои бартариҳои зуд вокуниш ва самаранокии баланд мебошад. Хусусан ҳангоми кандакории маводҳои дорои кремний, ба монанди нитриди кремний, он суръати баланди кандакорӣ ва интихобӣ дорад ва дар сатҳи ашёи кандакорӣ боқимонда намегузорад. Он инчунин як воситаи тозакунандаи хеле хуб аст ва ба сатҳ ифлосӣ надорад, ки метавонад ба ниёзҳои раванди коркард ҷавобгӯ бошад.
Вақти нашр: 14 сентябри соли 2024
