Генерҳои оддии электронии махсус дар бар мегирандSulfur Hexafluenide (SF6), вофмгстен Hexafluoride (WF6),Tretrafluororide (CF4), Trifluoromethane (CHF3), Trifluoride (CHF3), Trifluoride (NF3), Hextaglenide (NF3), HexaGluororoan (C2F6) ва Октафорипопофан (C3F8).
Бо рушди нанотехнология ва рушди миқёси васеи саноати электроника, талаботи он рӯзро зиёд мекунад. Трифлуори нитроген ҳамчун гази бениҳоят махсуси электронӣ дар истеҳсолот ва коркарди панелҳо ва нимноқилон, фазои васеъ дорад.
Ҳамчун як навъи гази махсуси дорои газtrifluoride (NF3)Оё маҳсулоти электронии махсуси газ бо қобилияти бузургтарини бозор аст. Он дар ҳарорати хонагӣ хушктар аст, аз оксиген дар ҳарорати баландтар, нисбат ба мӯътадил бештар аз баландтар аз баландтар ва кор сабуктар. Трифарубруори нитроген асосан ҳамчун гази плазма-Плипи тоза кардани микросхемаи микросхель мебошад ва барои истеҳсоли Палатпарварии микросхабарии нимноқилҳо, нахҳои оптикӣ, чашмакҳои опвофсолтксикӣ ва ғайра мувофиқ аст.
Дар муқоиса бо дигар газҳои электронии дорои электронӣtrifluoride nitrogenдорои бартариҳои аксуламали зуд ва самаранокии баланд дорад. Хусусан дар etching масолеҳи кремника, ба монанди нитритҳои кременконӣ, он сатҳи баланд ва интихобӣ дорад, ки ҳеҷ гуна резидент дар сатҳи объекти ба вуҷуд надорад. Он инчунин агенти тозакунии хуб аст ва ба сатҳи он ифлос намешавад, ки метавонад ба ниёзҳои раванди коркард қонеъ кунад.
Вақти почта: СЕП-14-2024
