Миқдори аз ҳама зиёди гази махсуси электронӣ - нитроген трифторид NF3

Саноати нимноқилҳо ва панелҳои кишвари мо сатҳи баланди шукуфоиро нигоҳ медоранд. Трифториди нитроген, ҳамчун гази электронии махсуси ҳатмӣ ва ҳаҷми калонтарин дар истеҳсол ва коркарди панелҳо ва нимноқилҳо, фазои васеи бозорӣ дорад.

Газҳои электронии махсуси дорои фтор, ки маъмулан истифода мешаванд, инҳоянд:гексафториди сулфур (SF6), гексафториди волфрам (WF6),тетрафториди карбон (CF4), трифторметан (CHF3), трифториди нитроген (NF3), гексафторэтан (C2F6) ва октафтофторпропан (C3F8). Трифториди нитроген (NF3) асосан ҳамчун манбаи фтор барои лазерҳои кимиёвии энергияи баланд бо фториди гидроген-газ-фторид истифода мешавад. Қисми муассир (тақрибан 25%) энергияи реаксия байни H2-O2 ва F2 метавонад тавассути радиатсияи лазерӣ озод карда шавад, аз ин рӯ лазерҳои HF-OF дар байни лазерҳои кимиёвӣ умедбахштарин лазерҳо мебошанд.

Трифториди нитроген як гази аълои кандакории плазма дар саноати микроэлектроника мебошад. Барои кандакории кремний ва нитриди кремний, трифториди нитроген нисбат ба тетрафториди карбон ва омехтаи тетрафториди карбон ва оксиген суръати кандакорӣ ва интихоби баландтар дорад ва ба сатҳ ифлосӣ надорад. Хусусан дар кандакории маводҳои схемаҳои интегралӣ бо ғафсии камтар аз 1,5 мкм, трифториди нитроген суръати кандакорӣ ва интихоби хеле аъло дорад, ки дар сатҳи ашёи кандакорӣ ягон боқимонда намегузорад ва инчунин як воситаи хеле хуби тозакунанда мебошад. Бо рушди нанотехнология ва рушди васеъмиқёси саноати электроника, талабот ба он рӯз аз рӯз афзоиш хоҳад ёфт.

Ҳамчун як навъи гази махсуси дорои фтор, трифториди нитроген (NF3) бузургтарин маҳсулоти гази махсуси электронӣ дар бозор аст. Он дар ҳарорати хонагӣ аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол, аз оксиген фаъолтар, аз фтор устувортар ва дар ҳарорати баланд коркардаш осон аст.

Трифториди нитроген асосан ҳамчун гази кандакории плазма ва агенти тозакунандаи камераи реаксия истифода мешавад, ки барои соҳаҳои истеҳсолӣ ба монанди чипҳои нимноқил, дисплейҳои ҳамвор, нахҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ ва ғайра мувофиқ аст.

Дар муқоиса бо дигар газҳои электронии дорои фтор, трифториди нитроген бартариҳои зуд реаксия ва самаранокии баландро дорад, махсусан дар кандакории маводҳои дорои кремний, ба монанди нитриди кремний, он суръати баланди кандакорӣ ва интихобӣ дорад, ки дар сатҳи ашёи кандакорӣ боқимонда намегузорад ва инчунин як воситаи хеле хуби тозакунанда аст ва он ба сатҳ ифлоскунанда нест ва метавонад ба ниёзҳои раванди коркард ҷавобгӯ бошад.