Бузургтарин миқдори гази электронии махсус - нитроген Trifluoride NF3

Саноати нимназарии мо ва саноати панелии мо сатҳи баланди рушдро нигоҳ медорад. Трифлуори нитроген ҳамчун гази махсус ва калонтарин дар миқёси махсуси истеҳсолӣ ва коркарди панелҳо ва нимноқилон, фазои васеъи бозор дорад.

Одатан газҳои фторҳои махсус истифода мешавандSulfur Hexafluenide (SF6), вофмгстен Hexafluoride (WF6),Tretrafluororide (CF4), Trifluoromethane (CHF3), Trifluoride (CHF3), Trifluoride (NF3), Hextaglenide (NF3), HexaGluororoan (C2F6) ва Октафорипопофан (C3F8). Нитроген Trifluoride (NF3) асосан ҳамчун сарчашмаи фторҳои гидроэнергетик аз гази энергетикӣ истифода мешавад. Қисми муассир (тақрибан 25%) Энергияи аксуламал байни H2-O2 ва F2 метавонад аз ҷониби радиатсияи лазерӣ озод карда шавад, пас HF -и лазерҳо лазерҳои ояндадор дар байни лазерҳои кимиёвӣ мебошанд.

Трифлариди нитроген гази хуби plasma international дар саноати микроэҳлӣ мебошад. Барои ба даст овардани Sillicon ва Niticone, трифлориди нитроген нисбат ба tetrafuudide ва оксени карбон сатҳи баландтар ва интихобкунанда дорад ва ба сатҳи он ифлос намешавад. Хусусан дар etching маводи ҳамбастаи микросистема бо ғафсии камтар аз 1,5ум, трифларидени нитроген меъёри хуб ва интихоб намекунад, ки дар сатҳи объекти ба вуҷуд наоянд ва инчунин агенти хуби тозакунӣ аст. Бо рушди нанотехнология ва рушди миқёси васеи саноати электроника, талаботи он рӯзро зиёд мекунад.

Ҳамчун як навъи навъи гази махсуси газ, нитроген Trifluoride (NF3), бузургтарин маҳсулоти гази махсуси электронии газ дар бозор мебошад. Он дар ҳарорати хонагӣ, аз оксиген фаъолтар аст, устувортар аз сатҳи устувор ва идора кардан дар ҳарорати баланд.

Трифубруори нитроген асосан ҳамчун Plasma etiting ва пропсулоти усуле, ки барои истиқомати пойгоҳҳои спектакль мувофиқ аст, ки нахҳои оптикӣ, нахҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои оптикӣ ва ғайра истифода мешаванд.

Дар муқоиса бо газҳои электронии дорои электронии нитроген бартарии баланд ва самаранокии баландии дорои силикро дорад ва инчунин ба сатҳи тозакунӣ аст ва метавонад ба эҳтиёҷот ҷавобгӯ бошад раванди коркард.