Саноати нимнокил ва панельхои мамлакати мо дарачаи баланди тараккиётро нигох медорад. Трифториди нитроген ҳамчун гази махсуси электронии ҳатмӣ ва калонҳаҷм дар истеҳсол ва коркарди панелҳо ва нимноқилҳо фазои васеи бозор дорад.
Газҳои махсуси электронии дорои фтор, ки маъмулан истифода мешаванд, дохил мешавандсулфур гексафториди (SF6), гексафториди волфрам (WF6),тетрафториди карбон (CF4), трифторметан (CHF3), трифториди нитроген (NF3), гексафтороэтан (C2F6) ва октафторпропан (C3F8). Нитроген trifluoride (NF3) асосан ҳамчун манбаи фторид барои лазерҳои кимиёвии фториди гидроген-фториди газ истифода мешавад. Қисми самарабахш (тақрибан 25%) энергияи реаксия байни H2-O2 ва F2 метавонад тавассути радиатсияи лазерӣ озод карда шавад, аз ин рӯ лазерҳои HF-OF дар байни лазерҳои химиявӣ лазерҳои ояндадор мебошанд.
Трифториди нитроген як гази аълои плазма дар саноати микроэлектроника мебошад. Барои пошидани кремний ва нитриди кремний, трифториди нитроген нисбат ба тетрафториди карбон ва омехтаи тетрафториди карбон ва оксиген дорои суръати баландтар ва селективӣ дорад ва ифлосшавии сатҳи рӯи он надорад. Махсусан дар коркарди маводи микросхемаҳои интегралӣ бо ғафсӣ камтар аз 1,5um, трифториди нитроген дорои суръати хеле аъло ва интихобӣ буда, дар рӯи ашёи кашидашуда ҳеҷ пасмонда намегузорад ва инчунин як агенти тозакунандаи хеле хуб аст. Бо рушди нанотехнология ва рушди миқёси васеи саноати электроника, талабот ба он рӯз то рӯз меафзояд.
Ҳамчун як навъи гази махсуси дорои фтор, трифториди нитроген (NF3) бузургтарин маҳсулоти электронии махсуси газ дар бозор аст. Он дар ҳарорати хонагӣ аз ҷиҳати кимиёвӣ ғайрифаъол аст, аз оксиген фаъолтар, нисбат ба фтор устувортар аст ва дар ҳарорати баланд коркард кардан осон аст.
Трифтории нитроген асосан ҳамчун гази плазма ва тозакунандаи камераи реаксия истифода мешавад, ки барои соҳаҳои истеҳсолӣ ба монанди микросхемаҳои нимноқилӣ, дисплейҳои панели ҳамвор, нахҳои оптикӣ, ҳуҷайраҳои фотоэлектрикӣ ва ғайра мувофиқанд.
Дар муқоиса бо дигар газҳои электронии дорои фториди нитроген, трифториди нитроген дорои бартариҳои реаксияи зуд ва самаранокии баланд аст, махсусан дар коркарди маводи дорои кремний, ба монанди нитриди кремний, дорои суръати баланд ва селективӣ буда, дар сатҳи ашёи кандашуда ҳеҷ пасмонда намегузорад ва инчунин як воситаи хеле хуби тозакунӣ ва коркарди коркарди сатҳи он мебошад. раванд.
Вақти фиристодан: 26 декабри 2024
