Дар ҷараёни истеҳсоли нимноқилҳо Форматҳои нисбатан пешрафтаи истеҳсолӣ бо равандҳои нисбатан пешрафтаи истеҳсолӣ, тақрибан 50 намудҳои гуногуни газ заруранд. Газҳо одатан ба газҳои партия тақсим карда мешаванд вагазҳои махсус.

Истифодаи газҳо дар саноати микроэндретҳо ва нимноқилҳо ҳамеша дар равандҳои нимноқилӣ нақши муҳим дошт, алахусус равандҳои нимкуштор дар соҳаҳои мухталиф ба таври васеъ истифода мешаванд. Аз ULSI, TFT-LCD ба саноати ҷории микроэлементҳо, аз ҷумла равандҳои истеҳсолии микос (мулк), аз ҷумла қабули хушк, окслантатсияи борик, тамғаи борик филм ва ғайра истифода мешавад.

Масалан, бисёриҳо медонанд, ки микросхемаҳо аз қум сохта шудаанд, аммо ба тамоми раванди истеҳсолот нигаронида шудаанд, аз қабили фоторнесист, ба монанди фоторнесист, ба тарзи гирифтори маводи мақсаднок, гази махсус ва ғайра. Бастори ақди пушти саргузашти зерсохторҳо, муҳоҷирон, фоторамкахо, фоторамкахо, маводҳои алоқаманд ва ғайра талаб мекунад. Газҳои махсуси электронӣ дуввумин маводи калонтарин дар хароҷоти нимноқилонии нимназарк пас аз ниқобҳои Силолони Силикӣ мебошанд.

Покии газ ба муваффақияти компонент ва ҳосилнокии маҳсулот таъсири қатъӣ дорад ва бехатарии интиқоли газ ба саломатии кадрҳо ва бехатарии корхона вобаста аст. Чаро тозагии газ ба сатри раванд ва кадрҳо таъсири назаррас дорад? Ин шодмонӣ нест, аммо аз ҷониби хусусиятҳои хатарноки худи газ муайян карда мешавад.

Таснифи газҳои умумӣ дар саноати нимнарз

Гази оддӣ

Гази оддӣ низ гази зиёде номида мешавад: он ба гази саноатӣ бо талаботи покӣ ва ҳаҷми калони истеҳсолӣ ва фурӯш дахл дорад. Онро метавон ба гази тақсими ҳаво ва гази синтетикӣ мутобиқи усулҳои гуногуни омодагӣ тақсим кард. Гидроген (H2), нитроген (N2), оксиген (O2), Axgon (A2) ва ғайра;

Гази махсус

Гази махсус ба гази саноатӣ, ки дар соҳаҳои мушаххас истифода мешавад, дахл дорад ва талаботи махсус барои покӣ, гуногунӣ ва хосиятҳо дорад. АсосанСИh4, PH3, B2H6, A8H3,Hcl, CF4,Nh3, Pocl3, sat2cl2, SIHCCL3,Nh3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HF, HF, HF, HF, HF, HF, HF, HF, HFSF6… ва ғайра.

Намудҳои газҳои тарзӣ

Намудҳои газҳои махсус: calloval: calloval, toxic, оташгиранда, дастгирӣ ва дастгирӣ, интер ва ғайра.
Маъмулан газҳои нимназарк истифода мешаванд:
(i) callosive / toxic:Hcl, BF3, WF6, HBR, SH3CL2, NH3, NH3, PH3, PH3, CL2,BCL3...
(ii) оташгиранда: H2,Ch4,СИh4, PH3, ASH3, Shih2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(iii) сӯзишворӣ: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) Itert: n2,Cf4, C2F6,C4f8,SF6, CO2,Ne,Kr, Вай ...

Дар ҷараёни истгоҳи истеҳсоли намудҳои рийн, тақрибан 50 намудҳои гуногуни газҳои махсус (ба миқдори зиёди газҳои махсус (ба сифати газҳои махсус номида мешаванд), густариш, ба истифода, фотографӣ ва дигар равандҳо сарф карда мешаванд. Масалан, PH3 ва ASH3 ҳамчун манбаҳои фосфор ва Арсенция дар раванди estplantion, SF6, SF6, SF6, SF6, NIT4, NIT4, NIT4, NIT4, NIS4, NIS4, NITACTION дар раванди фотоглографӣ истифода мешаванд.

Аз ҷанбаҳои дар боло зикршуда мо метавонем дарк кунем, ки бисёр газҳои нимноқил ба бадани инсон зарар мерасонанд. Аз ҷумла, баъзе газҳо, ба монанди Схх4, худидоракунандаанд. То он даме, ки онҳо ихроҷ кунанд, онҳо бо оксиген дар ҳаво сахт муносибат мекунанд ва сӯхтанро сар мекунанд; ва Ash3 хеле заҳролуд аст. Ҳар гуна ихроҷи ночиз метавонад ба ҳаёти одамон зарар расонад, бинобар ин талабот барои бехатарии тарроҳии системаи назорат барои истифодаи газҳои махсус махсусан баланд аст.

Нимноқилон газҳои баландпӯшӣ доранд, ки "се дараҷа" доранд

Тозагии газ

Мундариҷаи фазои нопок дар газ одатан ҳамчун фоизи тозагии газ ифода карда мешавад, масалан 99,9999%. Умуман, талаботи покизагӣ барои газҳои махсуси махсус ба 5N 6N мерасад ва инчунин аз ҷониби таносуби баландии максималии ФАЛМИНОМАИ НАФТАД (ҚИСМИЯ), PPB (қисме аз млрд) ва ПТД (қисми як триллион). Соҳаи нимназарии нимноқилӣ барои покӣ ва суботи босифати газҳои махсус талаботи баландтарин дорад ва покии газҳои махсус одатан аз 6н зиёдтар аст.

Хушкӣ

Мазмуни об дар газ, ё тар, одатан дар нуктаи шабнам баён карда мешавад, ба монанди нуқтаи атмосфера.

Тозагӣ

Шумораи зарраҳои ифлоскунанда дар газ, зарраҳо бо андозаи зарринии мкм, баён карда мешаванд, ки дар чанд заррача баён карда мешавад. Барои ҳавои фишурдашуда, он одатан дар MG / M3 аз паси пасмондаҳои сахтбардории ногузир ифода карда мешавад, ки мундариҷаи нафтро дар бар мегирад.