Empitaxial (афзоиш)Ga омехтаs

Дар саноати нимнегатор, газе, ки барои парвариши як ё якчанд қабатҳои маводро аз ҷониби депозитсияи химиявӣ ба воя расонидааст, гази химиявии интихобшуда гази муфид номида мешавад.

Одатан газҳои муштараки силикӣ истифода мешаванд dichlorosilane, thretloride ваСилан. Асосан барои депозити кредитсионии амрикоӣ, депозитҳои овоздиҳии силикӣ, депозикунии филмҳои нитиконӣ, депозиписсияи ниттрасии силикӣ барои ҳуҷайраҳои офтобӣ ва ғайра истифода мешаванд, ки дар он як мавод ва дар сатҳи субстрат парвариш карда мешавад ва парвариш карда мешавад.

Депозитсияи химиявӣ (CVD) гази омехта

CVD усули пасандозии унсурҳо ва пайвастагиҳои алоҳида мебошад, ки пасандозҳои химиявии газ бо истифодаи пайвастагиҳои химиявӣ бо истифодаи пайвастагиҳои идоракунӣ, яъне усули ташаккули филм бо истифода аз аксуламалҳои кимиёи газ мебошад. Вобаста аз навъи филм ташкилшуда, депозитсияи химиявӣ (CVD), газ истифода мешавад, низ гуногун аст.

ДопингГази омехта

Дар истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилҳо ва ташкилотҳои иншоот, баъзе қурбониҳо ба маводи нимназарказӣ ва ғайримарказӣ, қабатҳои дилгиркунанда ва ғайра, ки дар раванди допинг истифода мешаванд, гази допинг номида мешавад.

Асосан артин, фосфор, кӯфтамус, фосфор Пентфорус, фосфор Пентфорж, нахустери арсенӣ, pentafluoride арсенӣ,Борт Трифруорорид, Зиборан ва ғайра.

Одатан, манбаи допинг бо гази интиқолдиҳанда омехта карда мешавад (ба монанди қабил ва нитроген) дар як манбаи манбаъ. Пас аз омезиш, ҷараёни газ ба кӯраи гудохта ворид карда мешавад ва кафантҳо дар рӯи кафан хонда мешавад ва сипас бо кремони тавлиди металлҳо, ки ба кремнон муҳоҷират мекунанд, вогузор мекунад.

EtchingОмехтаи газ

Etching барои гирифтани сатҳи коркард (ба монанди филми металлӣ) филми коркарди крлитонӣ, ва ғайра) дар бораи ниқоби фоторесистӣ, то шакли зарурии тасвирро дар сатҳи оптратсионӣ ба даст оред.

Усулҳои ба даст овардани кимиёи тар ва кимиёвии тар ва кимиёи хушк. Гази дар Fetching хушк истифода мешавад, ки гази хушк аст.

Etching газ одатан гази фториён (галаи), масаланTetrafluoride карбон, нитроген Трифден, Trifluorustonethant, hxxafluuroone, perfluorropropane ва ғайра.