Эпитаксиалӣ (афзоиш)Гаи омехтаs

Дар саноати нимноқилҳо, газе, ки барои парвариши як ё якчанд қабати мавод тавассути таҳшинкунии буғи кимиёвӣ дар зеризаминии бодиққат интихобшуда истифода мешавад, гази эпитаксиалӣ номида мешавад.

Газҳои эпитаксиалии кремний, ки маъмулан истифода мешаванд, дихлорсилан, тетрахлориди кремний василанАсосан барои ҷойгиркунии эпитаксиалии кремний, ҷойгиркунии плёнкаи оксиди кремний, ҷойгиркунии плёнкаи нитриди кремний, ҷойгиркунии плёнкаи аморфии кремний барои батареяҳои офтобӣ ва дигар фоторецепторҳо ва ғайра истифода мешавад. Эпитакси равандест, ки дар он маводи монокристаллӣ дар сатҳи субстрат ҷойгир карда мешавад ва парвариш карда мешавад.

Гази омехта бо буғҳои кимиёвӣ (CVD)

CVD усули гузоштани унсурҳо ва пайвастагиҳои муайян тавассути реаксияҳои кимиёвии фазаи газӣ бо истифода аз пайвастагиҳои идоранашаванда мебошад, яъне усули ташаккули плёнка бо истифода аз реаксияҳои кимиёвии фазаи газӣ. Вобаста аз намуди плёнкаи ташаккулёфта, гази истифодашудаи буғи химиявӣ (CVD) низ фарқ мекунад.

ДопингГази омехта

Дар истеҳсоли дастгоҳҳои нимноқилӣ ва схемаҳои интегралӣ, баъзе ифлосиҳо ба маводҳои нимноқилӣ илова карда мешаванд, то ба маводҳо намуди гузаронандагии зарурӣ ва муқовимати муайян дода шавад, то резисторҳо, пайвандҳои PN, қабатҳои дафншуда ва ғайра истеҳсол карда шаванд. Газе, ки дар раванди допинг истифода мешавад, гази допинг номида мешавад.

Асосан арсин, фосфин, трифториди фосфор, пентафториди фосфор, трифториди арсен, пентафториди арсен,трифториди бор, диборан ва ғайра

Одатан, манбаи легиркунӣ бо гази интиқолдиҳанда (масалан, аргон ва нитроген) дар шкафи манбаъ омехта карда мешавад. Пас аз омехта кардан, ҷараёни газ пайваста ба кӯраи диффузия ворид карда мешавад ва пластинаро иҳота мекунад, легирҳоро дар сатҳи пластина ҷойгир мекунад ва сипас бо кремний реаксия карда, металлҳои легиршударо ба вуҷуд меорад, ки ба кремний мубаддал мешаванд.

КанкорӣОмехтаи газ

Кандакорӣ ин кандакории сатҳи коркард (ба монанди плёнкаи металлӣ, плёнкаи оксиди кремний ва ғайра) дар рӯи замин бидуни ниқоби фоторезистӣ ва дар айни замон нигоҳ доштани минтақа бо ниқоби фоторезистӣ мебошад, то ки дар рӯи замин намунаи зарурии тасвир ба даст оварда шавад.

Усулҳои кандакорӣ кандакории тар ва кандакории хушки кимиёвиро дар бар мегиранд. Газе, ки дар кандакории хушки кимиёвӣ истифода мешавад, гази кандакорӣ номида мешавад.

Гази кандакорӣ одатан гази фтор (галоид) аст, ба монандитетрафториди карбон, трифториди нитроген, трифторметан, гексафторэтан, перфторпропан ва ғайра.