Тетрафториди карбон (CF4)

Тавсифи кӯтоҳ:

Тетрафториди карбон, ки бо номи тетрафторметан низ маълум аст, гази ранга дар ҳарорат ва фишори муқаррарӣ буда, дар об ҳал намешавад. Гази CF4 дар айни замон гази аз ҳама васеъ истифодашавандаи плазма дар саноати микроэлектроника мебошад. Он инчунин ҳамчун гази лазерӣ, яхдонҳои криогенӣ, ҳалкунанда, молидан, маводи изолятсия ва хунуккунанда барои қубурҳои детектори инфрасурх истифода мешавад.


Тафсилоти маҳсулот

Тегҳои маҳсулот

Параметрҳои техникӣ

Мушаххасот 99.999%
Оксиген + Аргон ≤1ppm
Нитроген ≤4 саҳ/мин
Рутубат (H2O) ≤3 ppm
HF ≤0,1 ppm
CO ≤0,1 ppm
CO2 ≤1 саҳ/мин
SF6 ≤1 саҳ/мин
Галокарбинҳо ≤1 саҳ/мин
Ҳама ифлосиҳо ≤10 саҳ/мин

Тетрафториди карбон як карбогидридҳои галогеншуда бо формулаи химиявии CF4 мебошад. Онро метавон ҳамчун карбогидридҳои галогендор, метани галогендор, перфторкарбон ё ҳамчун пайвастагии ғайриорганикӣ баррасӣ кард. Тетрафториди карбон гази бе ранг ва бӯй буда, дар об ҳал намешавад, дар бензол ва хлороформ ҳал мешавад. Дар ҳарорат ва фишори муқаррарӣ устувор аст, аз оксидантҳои қавӣ, маводи сӯзишворӣ ё сӯзишворӣ канорагирӣ кунед. Гази гайрисўзанда, фишори дохилии зарф њангоми ба гармии баланд дучор шудан зиёд шуда, хавфи кафидан ва таркиш ба амал меояд. Он аз чихати химиявй устувор ва оташгиранда нест. Дар ҳарорати хонагӣ танҳо реагенти металлии аммиаки моеъ кор карда метавонад. Тетрафториди карбон як газест, ки таъсири гармхонаҳоро ба вуҷуд меорад. Вай хеле устувор аст, метавонад дар атмосфера муддати дароз бимонад ва гази хеле пурқуввати гулхонаӣ мебошад. Тетрафториди карбон дар раванди коркарди плазмаи микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад. Он инчунин ҳамчун гази лазерӣ истифода мешавад ва дар яхдонҳои ҳарорати паст, ҳалкунандаҳо, равғанҳои молиданӣ, масолеҳи изолятсия ва хунуккунандаҳо барои детекторҳои инфрасурх истифода мешавад. Ин гази аз ҳама бештар истифодашавандаи плазма дар саноати микроэлектроника мебошад. Ин омехтаи гази тетрафторметани тозагии баланд ва тетрафторметан гази тозаи баланд ва оксигени тоза мебошад. Онро дар кремний, диоксиди кремний, нитриди кремний ва шишаи фосфосиликат васеъ истифода бурдан мумкин аст. Офтиши маводи филми борик ба монанди волфрам ва вольфрам инчунин дар тозакунии сатҳи дастгоҳҳои электронӣ, истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобӣ, технологияи лазерӣ, яхдонҳои ҳарорати паст, санҷиши ихроҷ ва шустушӯй дар истеҳсоли микросхемаҳои чопӣ васеъ истифода мешавад. Барои микросхемаҳои интегралӣ ҳамчун яхдонҳои ҳарорати паст ва технологияи коркарди хушки плазма истифода мешавад. Чорабиниҳои эҳтиётӣ барои нигоҳдорӣ: Дар анбори гази сӯзишвории хунук, шамолдиҳанда нигоҳ дошта мешаванд. Аз оташ ва манбаъҳои гармӣ дур нигоҳ доред. Ҳарорати нигоҳдорӣ набояд аз 30 ° C зиёд бошад. Он бояд дар алоҳидагӣ аз сӯзишвориҳои осон (сӯхташаванда) ва оксидантҳо нигоҳ дошта шавад ва аз нигоҳдории омехта худдорӣ намоед. Майдони нигоҳдорӣ бояд бо таҷҳизоти муолиҷаи фаврии ихроҷ муҷаҳҳаз карда шавад.

Ариза:

① яхдон:

Тетрафторметан баъзан ҳамчун яхдон дар ҳарорати паст истифода мешавад.

  fdrgr Грег

② Эзоҳ:

Он дар микрофабрикаи электроника танҳо ё дар якҷоягӣ бо оксиген ҳамчун плазмаи кремний, диоксиди кремний ва нитриди кремний истифода мешавад.

dsgre ргг

Бастаи муқаррарӣ:

Маҳсулот Тетрафториди карбонCF4
Андозаи баста Силиндр 40л Силиндр 50л  
Пур кардани Вазни холис/Цил 30кг 38кг  
Миқдори бор дар 20'контейнер 250 сил 250 сил
Вазни умумии холис 7,5 тонна 9,5 тонна
Вазни зарфи силиндр 50кг 55кг
Клапан CGA 580

Афзалият:

①Тозагии баланд, иншооти навтарин;

②Истехсолкунандаи сертификати ISO;

③Интиқоли зуд;

④Системаи таҳлили онлайн барои назорати сифат дар ҳар як қадам;

⑤Талаботи баланд ва раванди дақиқ барои коркарди силиндр пеш аз пур кардан;


  • гузашта:
  • Баъдӣ:

  • Паёми худро дар ин ҷо нависед ва ба мо бифиристед