Мушаххасот | 99.999% |
Оксиген + Аргон | ≤1ppm |
Нитроген | ≤4 саҳ/мин |
Рутубат (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0,1 ppm |
CO | ≤0,1 ppm |
CO2 | ≤1 саҳ/мин |
SF6 | ≤1 саҳ/мин |
Галокарбинҳо | ≤1 саҳ/мин |
Ҳама ифлосиҳо | ≤10 саҳ/мин |
Тетрафториди карбон як карбогидридҳои галогеншуда бо формулаи химиявии CF4 мебошад. Онро метавон ҳамчун карбогидридҳои галогендор, метани галогендор, перфторкарбон ё ҳамчун пайвастагии ғайриорганикӣ баррасӣ кард. Тетрафториди карбон гази бе ранг ва бӯй буда, дар об ҳал намешавад, дар бензол ва хлороформ ҳал мешавад. Дар ҳарорат ва фишори муқаррарӣ устувор аст, аз оксидантҳои қавӣ, маводи сӯзишворӣ ё сӯзишворӣ канорагирӣ кунед. Гази гайрисўзанда, фишори дохилии зарф њангоми ба гармии баланд дучор шудан зиёд шуда, хавфи кафидан ва таркиш ба амал меояд. Он аз чихати химиявй устувор ва оташгиранда нест. Дар ҳарорати хонагӣ танҳо реагенти металлии аммиаки моеъ кор карда метавонад. Тетрафториди карбон як газест, ки таъсири гармхонаҳоро ба вуҷуд меорад. Вай хеле устувор аст, метавонад дар атмосфера муддати дароз бимонад ва гази хеле пурқуввати гулхонаӣ мебошад. Тетрафториди карбон дар раванди коркарди плазмаи микросхемаҳои интегралӣ истифода мешавад. Он инчунин ҳамчун гази лазерӣ истифода мешавад ва дар яхдонҳои ҳарорати паст, ҳалкунандаҳо, равғанҳои молиданӣ, масолеҳи изолятсия ва хунуккунандаҳо барои детекторҳои инфрасурх истифода мешавад. Ин гази аз ҳама бештар истифодашавандаи плазма дар саноати микроэлектроника мебошад. Ин омехтаи гази тетрафторметани тозагии баланд ва тетрафторметан гази тозаи баланд ва оксигени тоза мебошад. Онро дар кремний, диоксиди кремний, нитриди кремний ва шишаи фосфосиликат васеъ истифода бурдан мумкин аст. Офтиши маводи филми борик ба монанди волфрам ва вольфрам инчунин дар тозакунии сатҳи дастгоҳҳои электронӣ, истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобӣ, технологияи лазерӣ, яхдонҳои ҳарорати паст, санҷиши ихроҷ ва шустушӯй дар истеҳсоли микросхемаҳои чопӣ васеъ истифода мешавад. Барои микросхемаҳои интегралӣ ҳамчун яхдонҳои ҳарорати паст ва технологияи коркарди хушки плазма истифода мешавад. Чорабиниҳои эҳтиётӣ барои нигоҳдорӣ: Дар анбори гази сӯзишвории хунук, шамолдиҳанда нигоҳ дошта мешаванд. Аз оташ ва манбаъҳои гармӣ дур нигоҳ доред. Ҳарорати нигоҳдорӣ набояд аз 30 ° C зиёд бошад. Он бояд дар алоҳидагӣ аз сӯзишвориҳои осон (сӯхташаванда) ва оксидантҳо нигоҳ дошта шавад ва аз нигоҳдории омехта худдорӣ намоед. Майдони нигоҳдорӣ бояд бо таҷҳизоти муолиҷаи фаврии ихроҷ муҷаҳҳаз карда шавад.
① яхдон:
Тетрафторметан баъзан ҳамчун яхдон дар ҳарорати паст истифода мешавад.
② Эзоҳ:
Он дар микрофабрикаи электроника танҳо ё дар якҷоягӣ бо оксиген ҳамчун плазмаи кремний, диоксиди кремний ва нитриди кремний истифода мешавад.
Маҳсулот | Тетрафториди карбонCF4 | ||
Андозаи баста | Силиндр 40л | Силиндр 50л | |
Пур кардани Вазни холис/Цил | 30кг | 38кг | |
Миқдори бор дар 20'контейнер | 250 сил | 250 сил | |
Вазни умумии холис | 7,5 тонна | 9,5 тонна | |
Вазни зарфи силиндр | 50кг | 55кг | |
Клапан | CGA 580 |
①Тозагии баланд, иншооти навтарин;
②Истехсолкунандаи сертификати ISO;
③Интиқоли зуд;
④Системаи таҳлили онлайн барои назорати сифат дар ҳар як қадам;
⑤Талаботи баланд ва раванди дақиқ барои коркарди силиндр пеш аз пур кардан;