Силаняк пайвастагии кремний ва гидроген аст ва истилоҳи умумӣ барои як қатор пайвастагиҳо мебошад. Силан асосан моносилан (SiH4), дисилан (Si2H6) ва баъзе пайвастагиҳои гидрогении кремнийро бо формулаи умумии SinH2n+2 дар бар мегирад. Аммо, дар истеҳсоли воқеӣ, мо одатан моносиланро (формули кимиёвии SiH4) ҳамчун "силан" меномем.
Синфи электронӣгази силанасосан бо рохи дистилятсияи гуногуни реаксия ва тоза кардани хокаи кремний, гидроген, тетрахлориди кремний, катализатор ва гайра ба даст меояд Силани тозагии аз 3Н то 4Н бударо силани дарачаи саноатй ва силанро бо тозагии зиёда аз 6Н электрон- гази силани дараҷаи.
Ҳамчун манбаи газ барои интиқоли ҷузъҳои кремний,гази силанба гази муҳими махсус табдил ёфтааст, ки аз сабаби тозагии баланд ва қобилияти ба даст овардани назорати хубаш онро бо бисёр дигар манбаъҳои кремний иваз кардан мумкин нест. Моносилан тавассути реаксияи пиролиз кремнийи кристаллӣ тавлид мекунад, ки дар айни замон яке аз усулҳои истеҳсоли миқёси калони кремнийи монокристаллӣ ва кремнийи поликристаллӣ дар ҷаҳон мебошад.
Хусусиятҳои силан
Силан (SiH4)гази беранг буда, бо хаво реаксия карда, боиси нафасгирй мегардад. Синоними он гидриди кремний мебошад. Формулаи кимиёвии силан SiH4 аст ва мундариҷаи он то 99,99% баланд аст. Дар ҳарорати хонагӣ ва фишор силан гази заҳролуд аст. Нуқтаи обшавии силан -185 ℃ ва нуқтаи ҷӯшон -112 ℃ аст. Дар ҳарорати хонагӣ силан устувор аст, аммо вақте ки то 400 ℃ гарм карда мешавад, он комилан ба кремний ва гидрогени газӣ таҷзия мешавад. Силан оташгиранда ва тарканда аст ва он дар ҳаво ё гази галогенӣ ба таври тарканда месӯзад.
Майдонҳои дархост
Силан дорои доираи васеи истифода мебошад. Илова бар он ки роҳи самараноктарини пайваст кардани молекулаҳои кремний ба сатҳи ҳуҷайра ҳангоми истеҳсоли ҳуҷайраҳои офтобӣ, он инчунин дар корхонаҳои истеҳсолӣ ба монанди нимноқилҳо, дисплейҳои панелҳои ҳамвор ва шишаи пӯшида васеъ истифода мешавад.
Силанманбаи кремний барои равандҳои пошидани буғҳои кимиёвӣ ба монанди кремнийи монокристаллӣ, вафли эпитаксиалии кремнийи поликристаллӣ, диоксиди кремний, нитриди кремний ва шишаи фосфосиликатӣ дар саноати нимноқилҳо мебошад ва дар истеҳсол ва рушди ҳуҷайраҳои офтобӣ, барабанҳои кремнийи нусхабардорӣ васеъ истифода мешавад. , датчикхои фотоэлектрикй, наххои оптикй ва шишаи махсус.
Дар солҳои охир, истифодаи технологияҳои баланди силанҳо, аз ҷумла истеҳсоли сафолҳои пешрафта, маводи таркибӣ, маводҳои функсионалӣ, биоматериалҳо, маводи энергияи баланд ва ғайра пайдо мешаванд, ки асоси бисёр технологияҳои нав, маводи нав ва нав мебошанд. дастгоҳҳо.
Вақти интишор: 29 август-2024