Гексафториди волфрам (WF6) тавассути раванди CVD дар сатҳи пластина ҷойгир карда мешавад, ки хандақҳои пайвасткунандаи металлро пур мекунад ва пайвасткунандаи металлро байни қабатҳо ташкил медиҳад.
Биёед аввал дар бораи плазма сӯҳбат кунем. Плазма шакли моддаест, ки асосан аз электронҳои озод ва ионҳои заряднок иборат аст. Он дар коинот васеъ мавҷуд аст ва аксар вақт ҳамчун ҳолати чоруми модда ҳисобида мешавад. Онро ҳолати плазма, ки онро "Плазма" низ меноманд, меноманд. Плазма дорои гузаронандагии баланди барқӣ буда, бо майдони электромагнитӣ таъсири қавии пайвастшавӣ дорад. Он гази қисман ионшуда аст, ки аз электронҳо, ионҳо, радикалҳои озод, зарраҳои бетараф ва фотонҳо иборат аст. Худи плазма омехтаи аз ҷиҳати электрикӣ бетараф аст, ки зарраҳои фаъоли физикӣ ва химиявӣ дорад.
Шарҳи содда ин аст, ки таҳти таъсири энергияи баланд, молекула қувваи ван дер Ваалс, қувваи пайванди кимиёвӣ ва қувваи Кулонро мағлуб мекунад ва дар маҷмӯъ шакли барқи нейтралиро нишон медиҳад. Дар айни замон, энергияи баланди аз ҷониби беруна додашуда се қувваи дар боло зикршударо мағлуб мекунад. Функсия, электронҳо ва ионҳо ҳолати озодро нишон медиҳанд, ки онро метавон ба таври сунъӣ таҳти модулятсияи майдони магнитӣ, ба монанди раванди кандакории нимноқилҳо, раванди CVD, раванди PVD ва раванди IMP истифода бурд.
Энергияи баланд чист? Дар назария, ҳам ҳарорати баланд ва ҳам басомади баланди радиорелейшнро истифода бурдан мумкин аст. Умуман, ба даст овардани ҳарорати баланд қариб ғайриимкон аст. Ин талаботи ҳарорат хеле баланд аст ва метавонад ба ҳарорати офтоб наздик бошад. Дар ин раванд ба даст овардани он асосан ғайриимкон аст. Аз ин рӯ, саноат одатан барои ба даст овардани он аз радиорелейшннии басомади баланд истифода мебарад. Радиорелейшннии плазма метавонад то 13MHz+ расад.
Гексафториди волфрам таҳти таъсири майдони электрикӣ плазма карда мешавад ва сипас бо майдони магнитӣ буғӣ мешавад. Атомҳои W ба парҳои зимистонаи ғоз монанданд ва таҳти таъсири ҷозиба ба замин меафтанд. Оҳиста-оҳиста, атомҳои W ба сӯрохиҳои гузаранда гузошта мешаванд ва дар ниҳоят сӯрохиҳои пурраи гузарандаро пур мекунанд, то пайвастҳои металлӣ ташкил кунанд. Илова бар гузоштани атомҳои W дар сӯрохиҳои гузаранда, онҳо инчунин дар сатҳи пластина гузошта мешаванд? Бале, албатта. Умуман, шумо метавонед раванди W-CMP-ро истифода баред, ки онро мо раванди майдакунии механикӣ барои тоза кардан меномем. Ин ба истифодаи ҷорӯб барои рӯфтани фарш пас аз барфи шадид монанд аст. Барфи рӯи замин тоза карда мешавад, аммо барфи рӯи сӯрохи рӯи замин боқӣ мемонад. Дар поён, тақрибан ҳамин тавр.
Вақти нашр: 24 декабри соли 2021
