Гексафториди волфрам (WF6) дар сатҳи пластинка тавассути раванди CVD ҷойгир карда мешавад, ки чуқурҳои пайвасти металлиро пур мекунад ва пайвастагии металлии байни қабатҳоро ташкил медиҳад.
Биёед аввал дар бораи плазма гап занем. Плазма як шакли материя аст, ки асосан аз электронҳои озод ва ионҳои заряднок иборат аст. Он дар олам ба таври васеъ мавҷуд аст ва аксар вақт ҳамчун ҳолати чоруми материя ҳисобида мешавад. Он ҳолати плазма номида мешавад, ки онро "Плазма" низ меноманд. Плазма гузариши баланди электрикӣ дорад ва бо майдони электромагнитӣ таъсири сахт дорад. Ин гази қисман иононидашуда мебошад, ки аз электронҳо, ионҳо, радикалҳои озод, зарраҳои нейтралӣ ва фотонҳо иборат аст. Худи плазма омехтаи аз ҷиҳати электрикӣ бетараф аст, ки дорои зарраҳои аз ҷиҳати физикӣ ва химиявӣ фаъол аст.
Шарҳи мустақим ин аст, ки дар зери таъсири энергияи баланд, молекула қувваи ван дер Ваалс, қувваи пайванди химиявӣ ва қувваи Кулонро мағлуб мекунад ва як шакли барқи нейтралиро дар маҷмӯъ пешниҳод мекунад. Дар баробари ин, энергияи баланде, ки берун аз он дода мешавад, бар се қувваи боло ғолиб меояд. Функсия, электронҳо ва ионҳо ҳолати озодеро пешниҳод мекунанд, ки онро дар зери модуляцияи майдони магнитӣ ба таври сунъӣ истифода бурдан мумкин аст, ба монанди раванди нимноқил, раванди CVD, PVD ва IMP.
Энергияи баланд чист? Дар назария, ҳам ҳарорати баланд ва ҳам РБ басомади баландро истифода бурдан мумкин аст. Умуман, ба ҳарорати баланд ноил шудан қариб ғайриимкон аст. Ин талабот ба ҳарорат хеле баланд аст ва метавонад ба ҳарорати офтоб наздик бошад. Дар ин раванд ба он ноил шудан аслан ғайриимкон аст. Аз ин рӯ, саноат одатан барои ноил шудан ба он RF-и баландбасомадро истифода мебарад. Плазма RF метавонад то 13 МГс+ расад.
Гексафториди вольфрам дар зери таъсири майдони электрикӣ плазма карда мешавад ва сипас тавассути майдони магнитӣ буғ ҷойгир карда мешавад. Атомҳои W ба парҳои гусфанди зимистон монанданд ва дар зери таъсири қувваи ҷозиба ба замин меафтанд. Оҳиста-оҳиста атомҳои W дар сӯрохиҳо ҷойгир карда мешаванд ва дар ниҳоят пур аз сӯрохиҳо пур карда мешаванд, то пайвастагиҳои металлиро ташкил кунанд. Илова ба гузоштани атомҳои W дар сӯрохиҳо, оё онҳо инчунин дар сатҳи Ваффер ҷойгир карда мешаванд? Ҳа, бешубҳа. Умуман, шумо метавонед раванди W-CMP-ро истифода баред, ки мо онро раванди дастоскунии механикӣ барои хориҷ меномем. Ин ба истифодаи ҷорӯб барои рӯфтани фарш пас аз барфи шадид монанд аст. Барфи заминро мерезад, аммо барф дар сӯрохи замин мемонад. Поён, тақрибан ҳамон.
Вақти фиристодан: 24 декабри 2021
