Гексафториди сулфур газест, ки дорои хосиятҳои аълои изолятсия мебошад ва аксар вақт дар хомӯшкунии камонҳои баландшиддат ва трансформаторҳо, хатҳои интиқоли баландшиддат, трансформаторҳо ва ғайра истифода мешавад. Аммо, илова бар ин вазифаҳо, гексафториди сулфурро ҳамчун сӯзандаи электронӣ низ истифода бурдан мумкин аст. Гексафториди сулфури тозаи дараҷаи электронӣ як сӯзандаи беҳтарини электронӣ аст, ки дар соҳаи технологияи микроэлектроника васеъ истифода мешавад. Имрӯз, муҳаррири махсуси гази Niu Ruide Yueyue истифодаи гексафториди сулфурро дар сӯзандагии нитриди кремний ва таъсири параметрҳои гуногун муаррифӣ мекунад.
Мо раванди кандакории SiNx-ро дар плазмаи SF6, аз ҷумла тағир додани қувваи плазма, таносуби гази SF6/He ва илова кардани гази катионӣ O2, таъсири онро ба суръати кандакории қабати муҳофизатии унсури SiNx-и TFT ва истифодаи радиатсияи плазма баррасӣ мекунем. Спектрометр тағйироти консентратсияи ҳар як намудро дар плазмаи SF6/He, SF6/He/O2 ва суръати диссотсиатсияи SF6 таҳлил мекунад ва робитаи байни тағирёбии суръати кандакории SiNx ва консентратсияи намудҳои плазмаро меомӯзад.
Таҳқиқотҳо нишон доданд, ки ҳангоми зиёд шудани қувваи плазма, суръати кандакорӣ меафзояд; агар суръати ҷараёни SF6 дар плазма зиёд шавад, консентратсияи атоми F меафзояд ва бо суръати кандакорӣ робитаи мусбат дорад. Ғайр аз ин, пас аз илова кардани гази катионӣ O2 дар зери суръати умумии ҷараёни муқарраршуда, он таъсири афзоиши суръати кандакорӣ хоҳад дошт, аммо дар зери таносубҳои гуногуни ҷараёни O2/SF6, механизмҳои гуногуни реаксия мавҷуданд, ки онҳоро ба се қисм тақсим кардан мумкин аст: (1) Таносуби ҷараёни O2/SF6 хеле хурд аст, O2 метавонад ба диссотсиатсияи SF6 мусоидат кунад ва суръати кандакорӣ дар ин вақт нисбат ба вақте ки O2 илова карда намешавад, зиёдтар аст. (2) Вақте ки таносуби ҷараёни O2/SF6 аз 0.2 ба фосилаи наздик ба 1 зиёдтар аст, дар ин вақт, аз сабаби миқдори зиёди диссотсиатсияи SF6 барои ташкили атомҳои F, суръати кандакорӣ баландтарин аст; аммо дар айни замон, атомҳои O дар плазма низ афзоиш меёбанд ва бо сатҳи плёнкаи SiNx ташкил додани SiOx ё SiNxO(yx) осон аст ва ҳар қадар атомҳои O зиёд шаванд, ҳамон қадар барои аксуламали кандакорӣ атомҳои F душвортар мешаванд. Аз ин рӯ, суръати кандакорӣ вақте суст мешавад, ки таносуби O2/SF6 ба 1 наздик бошад. (3) Вақте ки таносуби O2/SF6 аз 1 зиёд аст, суръати кандакорӣ коҳиш меёбад. Аз сабаби афзоиши зиёди O2, атомҳои F-и ҷудошуда бо O2 бархӯрда, OF-ро ташкил медиҳанд, ки консентратсияи атомҳои F-ро коҳиш медиҳад ва дар натиҷа суръати кандакорӣ коҳиш меёбад. Аз ин дида мешавад, ки ҳангоми илова кардани O2, таносуби ҷараёни O2/SF6 байни 0.2 ва 0.8 аст ва беҳтарин суръати кандакориро ба даст овардан мумкин аст.
Вақти нашр: 06 декабри соли 2021
