Дар соли 2018 бозори ҷаҳонии гази электронии микросхемаҳои интегралӣ ба 4,512 миллиард доллари ИМА расид, ки нисбат ба як сол 16% афзоиш ёфтааст. Суръати баланди афзоиши саноати электронии махсуси газ барои нимноқилҳо ва андозаи бузурги бозор нақшаи ивазкунии дохилии гази махсуси электрониро суръат бахшиданд!
Гази электронӣ чист?
Гази электронӣ ба маводи асосии сарчашмае, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо, дисплейҳои ҳамвор, диодҳои рӯшноӣ, батареяҳои офтобӣ ва дигар маҳсулоти электронӣ истифода мешавад, дахл дорад ва дар тозакунӣ, сӯзишворӣ, ташаккули филм, допинг ва дигар равандҳо васеъ истифода мешавад. Самтҳои асосии татбиқи гази электронӣ саноати электроника, батареяҳои офтобӣ, алоқаи мобилӣ, навигасияи автомобилӣ ва системаҳои аудио ва видеои автомобилӣ, аэрокосмос, саноати ҳарбӣ ва бисёр дигар соҳаҳоро дар бар мегиранд.
Гази махсуси электрониро аз рӯи таркиби химиявии худ ба ҳафт категория тақсим кардан мумкин аст: кремний, мышьяк, фосфор, бор, гидриди металлӣ, галогенӣ ва алкоксиди металлӣ. Мувофиқи усулҳои гуногуни татбиқ дар микросхемаҳои интегралӣ, он метавонад ба гази допинг, гази эпитаксия, гази имплантатсияи ионӣ, гази диодҳои рӯшноӣ, гази сӯзишворӣ, гази таҳшинии буғи химиявӣ ва гази мувозинат тақсим карда шавад. Дар саноати нимноқил зиёда аз 110 адад газҳои махсус истифода мешаванд, ки бештар аз 30-тои онҳо маъмулан истифода мешаванд.
Умуман, саноати истеҳсоли нимноқилҳо газҳоро ба ду намуд тақсим мекунад: газҳои умумӣ ва газҳои махсус. Дар байни онҳо гази маъмулан истифодашаванда ба таъминоти мутамарказ ишора мекунад ва гази зиёдеро истифода мебарад, аз қабили N2, H2, O2, Ar, He ва ғайра. Гази махсус ба баъзе газҳои кимиёвӣ, ки дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, дахл дорад, масалан васеъкунӣ, тазриқи ионҳо, омехта кардан, шустан ва ташаккули ниқоб, ки мо онро ҳоло гази махсуси электронӣ меномем, ба монанди SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ва ғ.
Дар тамоми раванди истеҳсоли саноати нимноқилҳо, аз афзоиши чип ба бастабандии дастгоҳи ниҳоӣ, қариб ҳар як пайванд аз гази махсуси электронӣ ҷудонашаванда аст ва гуногунии гази истифодашаванда ва талаботи сифати баланд, бинобар ин гази электронӣ дорои маводи нимноқилӣ мебошад. «Хӯрок».
Дар солҳои охир, ҷузъҳои асосии электронии Чин, аз қабили нимноқилҳо ва панелҳои дисплей дар иқтидори нави истеҳсолӣ афзоиш ёфтанд ва талабот ба воридоти ивазкунандаи маводи кимиёвии электронӣ вуҷуд дорад. Мавқеи газҳои электронӣ дар саноати нимноқилҳо беш аз пеш намоён мешавад. Саноати гази электронии ватанй ба афзоиши босуръат мусоидат мекунад.
Гази махсуси электронӣ барои тозагӣ талаботи хеле баланд дорад, зеро агар тозагӣ ба талабот мувофиқат накунад, гурӯҳҳои наҷосат ба монанди буғи об ва оксиген дар гази махсуси электронӣ ба осонӣ дар рӯи нимноқилҳо филми оксидиро ба вуҷуд меоранд. мӯҳлати хизмати дастгоҳҳои электронӣ ва гази махсуси электронӣ дорои дорои зарраҳои ифлосҳо метавонанд расиши кӯтоҳи нимноқилҳо ва осеби ноқилҳоро ба вуҷуд оранд. Гуфтан мумкин аст, ки такмили тозагӣ дар ҳосилнокӣ ва иҷрои истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ нақши муҳим дорад.
Бо рушди муттасили саноати нимноқилҳо, раванди истеҳсоли чипҳо такмил дода мешавад ва ҳоло он ба 5 нм расидааст, ки он ба ҳадди қонуни Мур наздик мешавад, ки ба бист як ҳиссаи диаметри мӯи инсон баробар аст ( тақрибан 0,1 мм). Аз ин рӯ, ин инчунин ба тозагии гази махсуси электронии аз ҷониби нимноқилҳо истеҳсолшуда талаботи баландтар мегузорад.
Вақти интишор: Декабр-15-2021
