Дар соли 2018, бозори ҷаҳонии гази электронӣ барои схемаҳои интегралӣ ба 4,512 миллиард доллари ИМА расид, ки нисбат ба соли гузашта 16% афзоиш ёфтааст. Суръати баланди афзоиши саноати гази махсуси электронӣ барои нимноқилҳо ва андозаи бузурги бозор нақшаи ивазкунии дохилии гази махсуси электрониро суръат бахшиданд!
Гази электронӣ чист?
Гази электронӣ ба маводи асосии истифодашаванда дар истеҳсоли нимноқилҳо, дисплейҳои ҳамвор, диодҳои рӯшноӣ, батареяҳои офтобӣ ва дигар маҳсулоти электронӣ ишора мекунад ва дар тозакунӣ, кандакорӣ, ташаккули плёнка, допинг ва дигар равандҳо васеъ истифода мешавад. Соҳаҳои асосии истифодаи гази электронӣ саноати электроника, батареяҳои офтобӣ, алоқаи мобилӣ, паймоиши мошинҳо ва системаҳои аудио ва видеоии мошинҳо, кайҳонӣ, саноати низомӣ ва бисёр соҳаҳои дигарро дар бар мегиранд.
Гази махсуси электрониро мувофиқи таркиби кимиёвии худ ба ҳафт категория тақсим кардан мумкин аст: кремний, арсен, фосфор, бор, гидриди металл, галоген ва алкоксиди металл. Мувофиқи усулҳои гуногуни истифода дар схемаҳои интегралӣ, онро метавон ба гази легиркунӣ, гази эпитаксия, гази имплантатсияи ион, гази диоди рӯшноӣ, гази кандакорӣ, гази буғи кимиёвӣ ва гази балансӣ тақсим кард. Дар саноати нимноқилҳо зиёда аз 110 воҳиди гази махсус истифода мешавад, ки аз онҳо беш аз 30-тои онҳо маъмулан истифода мешаванд.
Умуман, саноати истеҳсоли нимноқилҳо газҳоро ба ду намуд тақсим мекунад: газҳои маъмулӣ ва газҳои махсус. Дар байни онҳо, гази маъмулӣ ба таъминоти марказонидашуда ишора мекунад ва аз гази зиёд, ба монанди N2, H2, O2, Ar, He ва ғайра истифода мебарад. Гази махсус ба баъзе газҳои кимиёвӣ ишора мекунад, ки дар раванди истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, ба монанди васеъкунӣ, тазриқи ион, омехтакунӣ, шустан ва ташаккули ниқоб, ки мо ҳоло онро гази махсуси электронӣ меномем, ба монанди SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ва ғайра.
Дар тамоми раванди истеҳсолии саноати нимноқилҳо, аз рушди чип то бастабандии ниҳоии дастгоҳ, қариб ҳар як ҳалқа аз гази махсуси электронӣ ва гуногунии гази истифодашуда ва талаботи баландсифат ҷудонашаванда аст, аз ин рӯ гази электронӣ дорои маводи нимноқилӣ мебошад. "Хӯрокворӣ".
Дар солҳои охир, ҷузъҳои асосии электронии Чин, аз қабили нимноқилҳо ва панелҳои намоишӣ, иқтидорҳои нави истеҳсолӣ афзоиш ёфтаанд ва талабот ба маводҳои ивазкунандаи воридотии кимиёвии электронӣ зиёд аст. Мавқеи газҳои электронӣ дар саноати нимноқилҳо торафт намоёнтар мегардад. Саноати гази электронии ватанӣ рушди босуръатро оғоз хоҳад кард.
Гази махсуси электронӣ талаботи хеле баланд барои тозагӣ дорад, зеро агар тозагӣ ба талабот ҷавобгӯ набошад, гурӯҳҳои ифлосӣ, ба монанди буғи об ва оксиген дар гази махсуси электронӣ, ба осонӣ дар сатҳи нимноқил плёнкаи оксидӣ пайдо мекунанд, ки ба мӯҳлати кори дастгоҳҳои электронӣ таъсир мерасонад ва гази махсуси электронӣ зарраҳои ифлосӣ доранд, ки метавонанд боиси занҷири кӯтоҳи нимноқилҳо ва осеби занҷир шаванд. Метавон гуфт, ки беҳтар кардани тозагӣ дар ҳосилнокӣ ва самаранокии истеҳсоли дастгоҳҳои электронӣ нақши муҳим дорад.
Бо рушди пайвастаи саноати нимноқилҳо, раванди истеҳсоли чип такмил меёбад ва ҳоло он ба 5 нм расидааст, ки ба ҳадди Қонуни Мур, ки ба бистяки диаметри мӯи инсон (тақрибан 0,1 мм) баробар аст, наздик мешавад. Аз ин рӯ, ин инчунин талаботи баландтарро ба тозагии гази махсуси электронӣ, ки аз ҷониби нимноқилҳо истеҳсол мешавад, пеш мегузорад.
Вақти нашр: 15 декабри соли 2021
