Хлориди гидрогенгази беранг буда, бӯи тез дорад. Маҳлули обии онро кислотаи гидрохлорӣ меноманд, ки онро кислотаи гидрохлорӣ низ меноманд. Хлориди гидроген дар об хеле ҳал мешавад. Дар ҳарорати 0°С 1 ҳаҷм об метавонад тақрибан 500 ҳаҷм хлориди гидрогенро ҳал кунад.

Он дорои хосиятҳо ва хусусиятҳои зерин:

1. тозагии баланд

Тозагии синфи электронӣхлориди гидрогенхеле баланд аст, одатан дар ppm ё сатҳи пасттар, то боварӣ ҳосил кунад, ки ба раванди истеҳсоли нимноқилҳо ягон ифлосшавӣ ворид нашавад.

2. Беэътиноӣ

Ин гази аз чихати химиявй инертй буда, бо бисьёр моддахои дигар реакция намедихад, ки барои пешгирй кардани ифлосшавии масолех ва тачхизоти нимноқилҳо хеле муҳим аст.

3. Устувории баланд

Синфи электронӣхлориди гидрогенумуман дорои химияи устувор барои таъмини коркарди боэътимоди нимноқилҳо.

Дар коркарди нимноқилҳо, барномаҳои асосии хлориди гидрогени электронӣ иборатанд аз:

1. Тозакунӣ ва омодасозии сатҳ

Ҳамчун тозакунандаи сатҳи самаранок, дараҷаи электронӣхлориди гидрогенбарои тоза кардани оксидҳо ва ифлосиҳо аз сатҳи субстрат барои таъмини сифат ва тозагии қабати эпитаксиалӣ ё плёнка истифода мешавад.

2. Кӯмаки афзоиши эпитаксиалӣ

Он ҳамчун агенти коркарди рӯизаминӣ дар раванди эпитаксиалӣ истифода мешавад, он ба беҳтар шудани сифати қабати эпитаксиалӣ, беҳтар кардани мувофиқати торҳо ва кам кардани ташаккули нуқсонҳои торӣ мусоидат мекунад.

3. Пеш аз коркарди субстрат

Пеш аз тайёр кардани дастгоххои нимнокил, разряди электронйхлориди гидрогенметавонад барои коркарди сатҳи субстрат барои ташаккул додани заминаи устувор барои беҳтар кардани пайвастшавӣ байни қабати эпитаксиалӣ ва субстрат истифода шавад.

4.Агенти ёрирасон

Дар ҷараёни таҳшиншавии буғи кимиёвӣ (CVD) ё таҳшиншавии буғи физикӣ (PVD), хлориди гидрогени дараҷаи электрониро метавон ҳамчун воситаи интиқоли фазаи газ барои иштирок дар реаксияи таҳшиншавии маводи нимноқил истифода бурд.

5. Агенти интиқоли газ-фаза

Ҳамчун агенти интиқоли марҳилаи газ, дигар прекурсорҳои газӣ ба камераи реаксия ворид карда мешаванд, то суръати таҳшиншавӣ ва якрангии маводро танзим кунанд.

Ин хусусиятҳо дараҷаи электрониро мекунандхлориди гидрогеняк агенти муҳими коркард дар технологияи нимноқилҳо, ки ба кор ва эътимоднокии дастгоҳи ниҳоӣ таъсири асосӣ мерасонад.

Илова ба истифодаи он дар коркарди нимноқилҳо, хлориди гидрогени дараҷаи электронӣ метавонад намудҳои гуногуни истифодаҳоро дар дигар соҳаҳо пайдо кунад, аз ҷумла: Тайёр кардани маводи тозагии баланд, ҳуҷайраҳои сӯзишворӣ, афзоиши маводи нимноқилҳо, литографияи марҳилаи буғ, таҳлили мавод, тадқиқоти кимиёвӣ.

Умуман, синфи электронӣхлориди гидрогеняк гази бисёрҷониба ва тозагии баланд аст, ки доираи васеи барномаҳои берун аз истеҳсоли нимноқилҳо дорад.