Хлориди гидрогенгази беранг бо бӯи тез аст. Маҳлули обии он кислотаи хлорид номида мешавад, ки онро кислотаи хлорид низ меноманд. Хлориди гидроген дар об хеле ҳалшаванда аст. Дар ҳарорати 0°C, 1 ҳаҷми об метавонад тақрибан 500 ҳаҷми хлориди гидрогенро ҳал кунад.

Он дорои хусусиятҳо ва хусусиятҳои зерин аст:

1. Покии баланд

Покии синфи электронӣхлориди гидрогенхеле баланд аст, одатан дар сатҳи ppm ё пасттар, то ки ягон ифлосӣ ба раванди истеҳсоли нимноқилҳо ворид карда нашавад.

2. Бетарафӣ

Ин гази аз ҷиҳати кимиёвӣ инертӣ аст, ки бо бисёр моддаҳои дигар реаксия намекунад, ки барои пешгирии ифлосшавии мавод ва таҷҳизоти нимноқилӣ хеле муҳим аст.

3. Устувории баланд

Синфи электронӣхлориди гидрогенумуман дорои химияи устувор аст, то коркарди боэътимоди нимноқилҳоро таъмин кунад.

Дар коркарди нимноқилҳо, татбиқҳои асосии хлориди гидрогени дараҷаи электронӣ инҳоянд:

1. Тозакунӣ ва омодасозии сатҳ

Ҳамчун тозакунандаи самараноки сатҳ, дараҷаи электронӣхлориди гидрогенбарои тоза кардани оксидҳо ва ифлосиҳо аз сатҳи субстрат истифода мешавад, то сифат ва покии қабат ё плёнкаи эпитаксиалиро таъмин намояд.

2. Кӯмаки афзоиши эпитаксиалӣ

Ҳамчун агенти коркарди сатҳӣ дар раванди эпитаксиалӣ истифода мешавад, он ба беҳтар шудани сифати қабати эпитаксиалӣ, беҳтар кардани мувофиқати шабака ва кам кардани пайдоиши нуқсонҳои шабака мусоидат мекунад.

3. Пешкоркарди субстрат

Пеш аз тайёр кардани дастгоҳҳои нимноқил, синфи электронӣхлориди гидрогенметавонад барои коркарди сатҳи субстрат истифода шавад, то пойгоҳи устуворро барои беҳтар кардани часпидан байни қабати эпитаксиалӣ ва субстрат ташкил диҳад.

4. Агенти ёрирасони таҳшинкунӣ

Дар раванди ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ (CVD) ё ҷойгиркунии буғи физикӣ (PVD), хлориди гидрогени дараҷаи электронӣ метавонад ҳамчун воситаи интиқоли фазаи газӣ барои иштирок дар реаксияи ҷойгиркунии маводҳои нимноқил истифода шавад.

5. Агенти интиқоли фазаи газӣ

Ҳамчун агенти интиқоли фазаи газӣ, дигар прекурсорҳои газӣ ба камераи реаксия ворид карда мешаванд, то ба танзими суръати таҳшиншавӣ ва якрангии мавод мусоидат кунанд.

Ин хусусиятҳо ба синфи электронӣ мусоидат мекунанд.хлориди гидрогеняк агенти муҳими коркард дар технологияи нимноқилҳо, ки ба самаранокӣ ва эътимоднокии дастгоҳи ниҳоӣ таъсири калидӣ мерасонад.

Илова бар истифодаи он дар коркарди нимноқилҳо, хлориди гидрогени дараҷаи электронӣ метавонад дар дигар соҳаҳо, аз ҷумла: Тайёр кардани маводҳои тозагии баланд, ҳуҷайраҳои сӯзишворӣ, афзоиши маводи нимноқилҳо, литографияи фазаи буғ, таҳлили мавод, тадқиқоти кимиёвӣ, истифодаҳои гуногун пайдо кунад.

Умуман, синфи электронӣхлориди гидрогеняк гази бисёрфунксионалӣ ва тозагии баланд аст, ки доираи васеи татбиқҳоро берун аз истеҳсоли нимноқилҳо дорад.