Гази лазерӣ асосан барои тафсонидани лазерӣ ва гази литография дар саноати электроника истифода мешавад. Бо истифода аз навовариҳои экранҳои телефонҳои мобилӣ ва васеъ кардани соҳаҳои татбиқ, миқёси бозори полисиликони ҳарорати паст боз ҳам васеътар хоҳад шуд ва раванди тафсонидани лазерӣ самаранокии TFT-ҳоро ба таври назаррас беҳтар кардааст. Дар байни газҳои неон, фтор ва аргон, ки дар лазери эксимерии ArF барои истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, неон беш аз 96% омехтаи гази лазериро ташкил медиҳад. Бо такмили технологияи нимноқилҳо, истифодаи лазерҳои эксимерӣ афзоиш ёфтааст ва ҷорӣ намудани технологияи дукарата боиси афзоиши якбораи талабот ба гази неон, ки лазерҳои эксимерии ArF истеъмол мекунанд, шудааст. Бо истифода аз пешбурди маҳаллисозии газҳои махсуси электронӣ, истеҳсолкунандагони ватанӣ дар оянда фазои беҳтари рушди бозор хоҳанд дошт.
Мошини литография таҷҳизоти асосии истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Литография андозаи транзисторҳоро муайян мекунад. Рушди ҳамоҳангшудаи занҷири саноати литография калиди пешрафти мошини литография мебошад. Маводҳои нимноқилҳои мувофиқ, ба монанди фоторезист, гази фотолитография, фотониқоб ва таҷҳизоти рӯйпӯшкунӣ ва таҳиякунанда дорои мундариҷаи баланди технологӣ мебошанд. Гази литография газест, ки мошини литография лазери ултрабунафши амиқро тавлид мекунад. Газҳои гуногуни литография метавонанд манбаъҳои рӯшноиро бо дарозии мавҷҳои гуногун тавлид кунанд ва дарозии мавҷи онҳо мустақиман ба қарори мошини литография, ки яке аз ядроҳои мошини литография мебошад, таъсир мерасонад. Дар соли 2020, фурӯши умумии ҷаҳонии мошинҳои литография 413 адад хоҳад буд, ки аз он фурӯши ASML 258 адад 62%, фурӯши Canon 122 адад 30% ва фурӯши Nikon 33 адад 8% -ро ташкил медиҳад.
Вақти нашр: 15 октябри соли 2021
