Гази лазерӣ асосан барои коркарди лазерӣ ва гази литография дар саноати электроника истифода мешавад. Бо истифода аз навовариҳои экранҳои телефони мобилӣ ва васеъ кардани соҳаҳои татбиқ, миқёси бозори полисиликони ҳарорати паст минбаъд васеъ карда мешавад ва раванди тозакунии лазерӣ кори TFT-ро ба таври назаррас беҳтар кардааст. Дар байни газҳои неон, фтор ва аргон, ки дар лазери эксимерии ArF барои истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, неон зиёда аз 96% омехтаи гази лазериро ташкил медиҳад. Бо такмили технологияи нимноқилҳо истифодаи лазерҳои эксимерӣ зиёд шуда, ҷорӣ намудани технологияи экспозицияи дукарата боиси якбора зиёд шудани талабот ба гази неон, ки лазерҳои экссимерии ArF истеъмол мекунанд, зиёд шуд. Истеҳсолкунандагони ватанӣ аз пешбурди маҳаллисозии газҳои махсуси электронӣ баҳра бурда, дар оянда фазои беҳтари рушди бозор хоҳанд дошт.
Мошини литография таҷҳизоти асосии истеҳсоли нимноқилҳо мебошад. Литография андозаи транзисторҳоро муайян мекунад. Рушди ҳамоҳангшудаи занҷири саноати литография калиди пешравии мошини литография мебошад. Маводҳои мувофиқи нимноқилӣ, аз қабили фоторезист, гази фотолитография, фотомаска, таҷҳизоти рӯйпӯш ва коркард дорои мазмуни баланди технологӣ мебошанд. Гази литография газест, ки мошини литография лазери амиқи ултрабунафш тавлид мекунад. Газҳои гуногуни литография метавонанд сарчашмаҳои нури дарозии мавҷҳои гуногунро ба вуҷуд оранд ва дарозии мавҷи онҳо бевосита ба ҳалли мошини литография, ки яке аз ядроҳои мошини литография мебошад, таъсир мерасонад. Дар соли 2020, ҳаҷми умумии фурӯши ҷаҳонии мошинҳои литографӣ 413 ададро ташкил медиҳад, ки аз он фурӯши ASML 258 адад 62%, фурӯши Canon 122 адад 30% ва фурӯши Nikon 33 адад 8% -ро ташкил медиҳад.
Вақти фиристодан: октябр-15-2021
