Трихлориди бор (BCl3)як пайвастагии ғайриорганикӣ аст, ки маъмулан дар равандҳои пошидани хушк ва рехтани буғи химиявӣ (CVD) дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад. Он гази беранг буда, дар ҳарорати хонагӣ бӯи сахти тез дорад ва ба ҳавои намӣ ҳассос аст, зеро он гидролиз шуда, кислотаи гидрохлорид ва кислотаи бор ҳосил мекунад.

Истифодаи Трихлориди Бор

Дар саноати нимноқилҳо,Трихлориди бораст, асосан барои афшурда хушк алюминий ва ҳамчун dopant барои ташкил минтақаҳои P-намуди дар вафли кремний истифода бурда мешавад. Он инчунин метавонад барои коркарди маводҳо ба монанди GaAs, Si, AlN ва ҳамчун манбаи бор дар барномаҳои мушаххас истифода шавад. Илова бар ин, трихлориди бор дар коркарди металл, саноати шиша, таҳлили химиявӣ ва тадқиқоти лабораторӣ васеъ истифода мешавад.

Бехатарии трихлориди бор

Трихлориди борзангзананда ва заҳрнок буда, метавонад ба чашм ва пӯст зарари ҷиддӣ расонад. Он дар ҳавои намӣ гидролиз мешавад ва гази заҳрноки хлориди гидрогенро хориҷ мекунад. Аз ин рӯ, ҳангоми коркард бояд чораҳои бехатарии дахлдор андешида шавандТрихлориди бор, аз ҷумла пӯшидани либоси муҳофизатӣ, айнак ва таҷҳизоти муҳофизати нафаскашӣ ва кор кардан дар муҳити хуб вентилятсияшуда.