Газҳои ULTRA-баланди тозагӣ (UHP), ки дар саноати нимноқатманд мебошанд, хоҳад буд. Тавре талаб кардани талабот ва халалдор шудани занҷирҳои таъминоти ҷаҳонӣ нархи гази солимии ULTRA-МЕШТАР Нархи гази нимназаркази нимноқил ва амалияҳои истеҳсолии нимназаркор ва таҷрибаи истеҳсолӣ сатҳи идоракунии ифлоскунандаро зиёд мекунад. Барои истеҳсолкунандагони нимноқилдор, қобилияти таъмини тозагии гази UHP аз ҳарвақта муҳимтар аст.

Газҳо ултра (UHP) дар истеҳсоли муосири спирдерҳо комилан муҳиманд

Яке аз барномаҳои асосии гази UHP инеризатсияро ба амал меорад: UHP гази атрофи ҷузъҳои муҳофизаткунанда истифода мешавад, ки онҳоро аз оқибатҳои зараровари маводи моеъ муҳофизат мекунад, оксигенӣ дар атмосфера. Бо вуҷуди ин, баеризатсия танҳо яке аз вазифаҳои гуногун мебошад, ки газҳо дар саноати нимноқилҳо иҷро мекунанд. Аз газҳои плазаи ибтидоӣ ба газҳои реактивӣ, ки дар қабули онҳо истифода мешаванд ва ангурҳои фишори ултра-баланд истифода мешаванд, барои бисёр мақсадҳои гуногуни нимназарӣ муҳим мебошанд.

Баъзе аз "газҳои асосии" дар саноати нимноқилҳо иборатанднитроген(ҳамчун тозакунии умумӣ ва акерика истифода мешавад),CARNON(ҳамчун гази ибтидоии плазма ва аксуламалҳои амонатӣ истифода мешавад),гармӣ(ҳамчун гази актрит бо хусусиятҳои махсуси гармӣ истифода мешавад) вагидроген(нақшҳои сершумори солона, тамғагонӣ, тоза кардани плазма дорад).

Тавре ки технологияи нимноқилонӣ такмил ёфта ва тағир ёфт, газҳое, ки дар ҷараёни истеҳсолӣ истифода мешаванд, дошта бошед. Имрӯз, растаниҳои истеҳсоли нимноқорҳо доираи васеи газҳоро аз газҳои шарикӣ истифода мебарандКэриптонванеонБа намудҳои реактивӣ, ба монанди нитроген Trifluoride (NF 3) ва ба итгензени Hexafludoride (WF 6).

Талаботи афзоиш ба покӣ

Аз замони ихтирооти якуми микрожнҳои тиҷоратӣ, ҷаҳон шоҳиди афзоиши афзоиши иҷрои дастгоҳҳои нимназарказ буд. Дар тӯли панҷ соли охир, яке аз роҳҳои баландтарини ноил шудан ба ин гуна такмили иҷрои ин гуна такмилдиҳии ҳаҷм: коҳиш додани андозаҳои калидии меъмории истифодашудаи транзистаҳо ба фазои додашуда. Илова бар ин, рушди меъмории нав ва истифодаи маводи пешбурди ашё ба сӯи дастгоҳ ҷаҳида оварданд.

Имрӯз, миқёсҳои муҳими нуқтаҳои буридашудаи каннизатсия ҳоло хеле хурд мебошанд, ки псенсияи андозаи андозаи андозаи қобили тавсеаи муваффақияти дастгоҳ нест. Ба ҷои ин, муҳаққиқони нимнобкатор қарорҳо дар шакли маводи роман ва меъмории 3-и чипҳо меҷӯянд.

Даҳсолаҳои тарҳрезии бебаҳо маънои дастгоҳҳои нимназаркории имрӯзаро хеле пурқувваттар мекунанд, назар ба микконҳо қадимтар мебошанд - аммо онҳо низ хеле осебпазир ҳастанд. Таҷрибаи техникаи Foolity 300MM WEREREATIONTESTEST сатҳи назорати ҷоинро барои истеҳсоли нимноқилҳо зиёд кардааст. Ҳатто олудашавии ночиз дар раванди истеҳсолӣ (хусусан газҳои нодир ё изофӣ) метавонад ба шикасти садамаҳои оффҳо оварда расонад - бинобар то абадӣ аз покӣ муҳимтар аст.

Барои як нерӯгоҳи маъмулии нимноқилвӣ, гази Ultra-покталаб аллакай аз бузургтарин хароҷоти моддӣ пас аз худи силикон аст. Ин хароҷотҳо танҳо интизор мешаванд, ки аз талабот ба нимназаркорон баланд шаванд. Чорабиниҳо дар Аврупо боиси вайроншавии иловагӣ ба бозори гази асосии баландӣ овардаанд. Украина яке аз калонтарин содиркунандагони сатҳи баланд астнеоналоматҳои; Дуруди Русия дорои маводҳои нодири газро маҳдуд мекунанд. Ин дар навбати худ ба норасоӣ оварда расонд ва нархи баландтари газҳои некро ба монандиКэриптонваxenon.