Газҳои ултра-баланд покӣ (UHP) хуни ҳаёти саноати нимноқилҳо мебошанд. Азбаски талабот ва халалдоршавии бесобиқа дар занҷирҳои таъминоти ҷаҳонӣ нархи гази ултра-баландро боло мебарад, тарроҳӣ ва таҷрибаҳои нави истеҳсоли нимноқилҳо сатҳи назорати ифлосшавии заруриро афзоиш медиҳанд. Барои истеҳсолкунандагони нимноқилҳо, таъмини тозагии гази UHP аз ҳарвақта муҳимтар аст.

Газҳои ултра-баландпоя (UHP) дар истеҳсоли муосири нимноқилҳо бениҳоят муҳиманд

Яке аз истифодаҳои асосии гази UHP инерсия аст: гази UHP барои таъмини фазои муҳофизатӣ дар атрофи ҷузъҳои нимноқил истифода мешавад ва бо ин васила онҳоро аз таъсири зараровари намӣ, оксиген ва дигар ифлоскунандаҳо дар атмосфера муҳофизат мекунад. Аммо, инерсия танҳо яке аз вазифаҳои гуногунест, ки газҳо дар саноати нимноқилҳо иҷро мекунанд. Аз газҳои плазмаи ибтидоӣ то газҳои реактивӣ, ки дар коркард ва тафсондан истифода мешаванд, газҳои фишори ултра баланд барои мақсадҳои гуногун истифода мешаванд ва дар тамоми занҷири таъминоти нимноқилҳо муҳиманд.

Баъзе аз газҳои "асосӣ" дар саноати нимноқилҳо инҳоянд:нитроген(ҳамчун тозакунии умумӣ ва гази инертӣ истифода мешавад),аргон(ҳамчун гази асосии плазма дар реаксияҳои кандакорӣ ва таҳшинкунӣ истифода мешавад),гелий(ҳамчун гази инертӣ бо хосиятҳои махсуси интиқоли гармӣ истифода мешавад) вагидроген(дар тозакунии плазма, таҳшинкунӣ, эпитаксия ва рафъи он нақшҳои гуногунро мебозад).

Бо таҳаввул ва тағйир ёфтани технологияи нимноқилҳо, газҳои истифодашаванда дар раванди истеҳсолот низ тағйир ёфтаанд. Имрӯз, корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо аз доираи васеи газҳо, аз ҷумла газҳои наҷиб, ба монандикриптонванеонба намудҳои реактивӣ, ба монанди трифториди нитроген (NF3) ва гексафториди волфрам (WF6).

Талаботи афзоянда ба тозагӣ

Аз замони ихтирои аввалин микрочипи тиҷоратӣ, ҷаҳон шоҳиди афзоиши қариб экспоненсиалии кори дастгоҳҳои нимноқилӣ шудааст. Дар тӯли панҷ соли охир, яке аз роҳҳои боэътимоди ноил шудан ба ин гуна беҳтар кардани кор тавассути "андозабандии андоза" буд: кам кардани андозаҳои калидии меъмории чипҳои мавҷуда барои ҷойгир кардани транзисторҳои бештар ба фазои муайян. Илова бар ин, таҳияи меъмории нави чипҳо ва истифодаи маводҳои муосир дар кори дастгоҳҳо ҷаҳишҳоро ба бор овардааст.

Имрӯз, андозаҳои муҳими нимноқилҳои пешрафта он қадар хурданд, ки миқёси андоза дигар роҳи қобили қабули беҳтар кардани кори дастгоҳҳо нест. Ба ҷои ин, муҳаққиқони нимноқилҳо дар ҷустуҷӯи роҳҳои ҳал дар шакли маводҳои нав ва меъмории чипҳои 3D мебошанд.

Даҳсолаҳои бозсозии бемайлон маънои онро дорад, ки дастгоҳҳои нимноқилҳои имрӯза нисбат ба микрочипҳои кӯҳна хеле пурқувваттаранд - аммо онҳо инчунин нозуктаранд. Пайдоиши технологияи истеҳсоли вафли 300 мм сатҳи назорати ифлосиро, ки барои истеҳсоли нимноқилҳо зарур аст, афзоиш додааст. Ҳатто ночизтарин ифлосшавӣ дар раванди истеҳсолӣ (хусусан газҳои нодир ё инертӣ) метавонад ба вайроншавии фалокатбори таҷҳизот оварда расонад - аз ин рӯ, тозагии газ ҳоло нисбат ба ҳарвақта муҳимтар аст.

Барои як корхонаи маъмулии истеҳсоли нимноқилҳо, гази ултра-тоза аллакай бузургтарин хароҷоти мавод пас аз худи кремний аст. Интизор меравад, ки ин хароҷот танҳо бо афзоиши талабот ба нимноқилҳо ба сатҳи нав афзоиш ёбанд. Рӯйдодҳо дар Аврупо боиси халалдоршавии иловагӣ дар бозори шиддатноки гази табиии ултра-тозаи фишор гардиданд. Украина яке аз бузургтарин содиркунандагони тозагии баланд дар ҷаҳон аст.неоналоматҳо; ҳуҷуми Русия маънои маҳдуд шудани таъминоти гази нодирро дорад. Ин дар навбати худ боиси норасоӣ ва болоравии нархи дигар газҳои наҷиб, ба монандикриптонваксенон.