Газҳои тозагии ултра баланд (UHP) хуни ҳаёти саноати нимноқилҳо мебошанд. Азбаски талабот бесобиқа ва халалдоршавӣ дар занҷирҳои ҷаҳонии таъминот нархи гази фишори баландро боло мебарад, тарроҳии нави нимноқилҳо ва таҷрибаҳои истеҳсолӣ сатҳи зарурии назорати ифлосшавиро афзоиш медиҳанд. Барои истеҳсолкунандагони нимноқилҳо қобилияти таъмини тозагии гази UHP аз ҳарвақта муҳимтар аст.

Газҳои ултра тозагии баланд (UHP) дар истеҳсоли нимноқилҳои муосир комилан муҳиманд

Яке аз барномаҳои асосии гази UHP инертизатсия аст: Гази UHP барои фароҳам овардани фазои муҳофизатӣ дар атрофи ҷузъҳои нимноқил истифода мешавад ва ба ин васила онҳоро аз таъсири зараровари намӣ, оксиген ва дигар ифлоскунандаҳои атмосфера муҳофизат мекунад. Аммо, инертизатсия танҳо яке аз вазифаҳои гуногунест, ки газҳо дар саноати нимноқилҳо иҷро мекунанд. Аз газҳои ибтидоии плазма то газҳои реактивӣ, ки дар коркард ва тозакунӣ истифода мешаванд, газҳои фишори ултра баланд барои мақсадҳои гуногун истифода мешаванд ва дар тамоми занҷири таъминоти нимноқилҳо муҳиманд.

Ба баъзе газҳои "аслӣ" дар саноати нимноқилҳо дохил мешаванднитроген(ҳамчун тозакунии умумӣ ва гази инертӣ истифода мешавад),аргон(ҳамчун гази ибтидоии плазма дар реаксияҳо ва таҳшинкунӣ истифода мешавад),гелий(ҳамчун гази инертӣ бо хосиятҳои махсуси гармӣгузаронӣ истифода мешавад) вагидроген(дар тозакунӣ, таҳшинкунӣ, эпитаксия ва тоза кардани плазма нақшҳои зиёд мебозад).

Тавре ки технологияи нимноқилҳо таҳаввул ва тағир ёфт, газҳое, ки дар раванди истеҳсолот истифода мешаванд, низ тағйир ёфт. Имрӯз, корхонаҳои истеҳсоли нимноқилҳо доираи васеи газҳоро аз газҳои неъмат ба монандикриптонванеонба намудҳои реактивӣ ба монанди трифториди нитроген (NF 3) ва гексафториди волфрам (WF 6).

Талабот ба тозагӣ меафзояд

Аз замони ихтирои аввалин микрочипи тиҷоратӣ, ҷаҳон шоҳиди афзоиши ҳайратангези қариб экспоненсиалӣ дар кори дастгоҳҳои нимноқилҳо гардид. Дар тӯли панҷ соли охир, яке аз роҳҳои боэътимоди ноил шудан ба ин гуна беҳбуди корҳо тавассути "миқёси андоза" буд: кам кардани андозаҳои асосии меъмории чипҳои мавҷуда бо мақсади фишурдани транзисторҳои бештар ба фазои додашуда. Илова бар ин, таҳияи меъмории нави чипҳо ва истифодаи маводҳои муосир дар кори дастгоҳ ҷаҳишҳоро ба вуҷуд овард.

Имрӯз, андозаҳои муҳими нимноқилҳои пешрафта ҳоло он қадар хурданд, ки миқёси андоза дигар роҳи қобили беҳтар кардани кори дастгоҳ нест. Ба ҷои ин, муҳаққиқони нимноқилҳо ҳалли худро дар шакли маводи нав ва меъмории чипи 3D ҷустуҷӯ мекунанд.

Даҳсолаҳои азнавсозии бефосила маънои онро дорад, ки дастгоҳҳои нимноқилҳои имрӯза назар ба микрочипҳои кӯҳна хеле тавонотаранд - аммо онҳо инчунин нозуктаранд. Пайдоиши технологияи истеҳсоли вафли 300 мм сатҳи назорати наҷосатро барои истеҳсоли нимноқилҳо афзоиш дод. Ҳатто ночизтарин ифлосшавӣ дар раванди истеҳсолӣ (хусусан газҳои нодир ё инертӣ) метавонад ба шикасти таҷҳизоти фалокатовар оварда расонад - аз ин рӯ, тозагии газ ҳоло аз ҳарвақта муҳимтар аст.

Барои як корхонаи маъмулии истеҳсоли нимноқилҳо, гази ултра тозагӣ аллакай пас аз худи кремний бузургтарин хароҷоти моддӣ мебошад. Ин хароҷотҳо танҳо афзоиш меёбанд, зеро талабот ба нимноқилҳо ба қуллаҳои нав мерасанд. Ҳодисаҳо дар Аврупо боиси халалдоршавии иловагӣ дар бозори пуршиддати гази табиӣ шуданд. Украина яке аз бузургтарин содиркунандагони маҳсулоти тозагии баланд дар ҷаҳон астнеоналоматҳо; Ҳамлаи Русия маънои онро дорад, ки интиқоли гази нодир маҳдуд мешавад. Ин дар навбати худ боиси камбудӣ ва болоравии нархи дигар газҳои наҷиб, аз қабиликриптонваксенон.